[實(shí)用新型]一種設(shè)有中心電極的真空鍍膜室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320178475.0
• 申請(qǐng)日: 2013-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN203200334U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李燦民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥永信信息產(chǎn)業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/22
• 分類號(hào): C23C14/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種設(shè)有中心電極的真空鍍膜室，鍍膜室由金屬網(wǎng)罩、金屬棒、玻璃磚支架、工件、鋁箔組成，其特征在于，金屬網(wǎng)罩內(nèi)設(shè)有一根與鍍膜室內(nèi)壁保持電導(dǎo)通的中心電極，所述中心電極與金屬網(wǎng)罩絕緣設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種設(shè)有中心電極的真空鍍膜室，其特征在于，所述中心電極為一直桿，橫向貫穿在金屬網(wǎng)罩內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種設(shè)有中心電極的真空鍍膜室，其特征在于，所述中心電極為一圓環(huán)結(jié)構(gòu)。