[實用新型]一種多晶硅硅芯硅橋連接裝置

有效

• 申請號: 201320087167.7
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN203212338U
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 劉剛;王秉琳;武春青;曹文海;李春松;朱貴平;張永良;李海霞
• 申請（專利權）人: 青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 李艷華

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產領域，尤其涉及一種多晶硅硅芯硅橋連接裝置。

背景技術

國內外多晶硅生產主要以改良西門子為主，關鍵設備為三氯氫硅還原反應爐。工藝物料三氯氫硅和氫氣在1100℃左右的硅芯表面發生化學氣相沉積反應，生成多晶硅。所有多晶硅生產用的硅芯均為一對硅芯，中間使用硅橋連接，下部使用硅芯夾持器固定并提供加熱電源，硅芯和硅橋的連接主要作用為啟動、運行時硅芯導電、固定硅芯，在還原爐進料一開始，硅芯和硅橋的表面沒有沉積多晶硅，為初始安裝狀態，如果硅芯和硅橋連接處配合接觸不理想，硅芯與硅橋連接處電阻大，初步高壓擊穿硅芯和硅橋時的難度高，需要的擊穿電壓就高，存在失敗可能性大，如果電阻過大，無法高壓擊穿，此次啟動失敗，需要打開還原爐重新安裝硅芯、硅橋，重新啟動步驟操作，這樣既浪費了硅芯和硅橋，又浪費物料、操作時間，所以硅芯和硅橋連接性能的好壞直接決定了本批次多晶硅生產是否正啟動、運行。

現有技術方案采用90°的V型槽的連接方法，在硅芯12的頂端連接處修整為90°的V型槽，硅橋11兩端加工為方形，與硅芯12的頂端正好配合，依靠硅橋11的重力將硅橋11和硅芯12連接在一起（參見圖1）。采用這種方式當大量物料氣體通入至還原爐內時，容易將硅橋11吹落或者移位，影響到硅橋11與硅芯12的接觸面失效，最終導致還原爐停車。因此，僅依靠重力將硅橋11壓在硅芯12上，接觸面的電阻大，高壓擊穿困難甚至無法擊穿，要打開還原爐重新安裝一次，極大地浪費了硅芯12、物料和運行時間，降低開爐成功率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種安裝便捷、接觸可靠的多晶硅硅芯硅橋連接裝置。

為解決上述問題，本實用新型所述的一種多晶硅硅芯硅橋連接裝置，包括硅橋和硅芯，其特征在于：所述硅橋為方形硅橋，其兩端硅芯安裝處設有錐度為1：10的錐形孔；所述硅芯為方形硅芯，其頂端呈錐度為1：10的錐形；所述方形硅芯的頂端與所述方形硅橋的錐形孔相匹配，并嵌入所述方形硅橋的錐形孔中。

所述方形硅橋的橫截面寬為15±3mm，高為8±1mm。

所述方形硅芯的邊長為8±1mm。

所述硅橋為圓形硅橋，其兩端硅芯安裝處設有錐度為1：10的錐形孔；所述硅芯為圓形硅芯，其頂端呈錐度為1：10的錐形；所述圓形硅芯的頂端與所述圓形硅橋的錐形孔相匹配，并嵌入所述圓形硅橋的錐形孔中。

所述圓形硅芯的直徑為8±1mm。

所述圓形硅橋的直徑為15±3mm。

所述方形硅芯或所述圓形硅芯頂端的錐形高度均為30±5mm。

本實用新型與現有技術相比具有以下優點：

1、由于本實用新型中的方形硅芯的頂端與方形硅橋的錐形孔相匹配，并嵌入方形硅橋的錐形孔中，或圓形硅芯的頂端與圓形硅橋的錐形孔相匹配，并嵌入圓形硅橋的錐形孔中，因此，保證在開爐初期進料時，硅橋完整安全地連接在硅芯上端，不受進料氣體的影響，保證了還原爐的正常安全運行，提高了還原爐開爐成功率，減少了還原爐啟動故障，降低生產成本。

2、本實用新型結構簡單、安裝便捷、接觸可靠。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細的說明。

圖1為現有技術裝配圖。

圖2為本實用新型中方形硅芯和方形硅橋裝配圖。

圖3為本實用新型中圓形硅芯和方形硅橋裝配圖。

圖中：1—方形硅橋??2—方形硅芯??11—硅橋??12—硅芯??3—圓形硅橋???4—圓形硅芯。

具體實施方式

如圖2所示，一種多晶硅硅芯硅橋連接裝置，包括硅橋和硅芯。硅橋為橫截面寬為15±3mm、高為8±1mm的方形硅橋1，其兩端硅芯安裝處設有錐度為1：10的錐形孔；硅芯為邊長為8±1mm的方形硅芯2，其頂端呈錐度為1：10的錐形；方形硅芯2的頂端與方形硅橋1的錐形孔相匹配，并嵌入方形硅橋1的錐形孔中。

如圖3所示的一種多晶硅硅芯硅橋連接裝置，硅橋為直徑為15±3mm的圓形硅橋3，其兩端硅芯安裝處設有錐度為1：10的錐形孔；硅芯為直徑為8±1mm的圓形硅芯4，其頂端呈錐度為1：10的錐形；圓形硅芯4的頂端與圓形硅橋3的錐形孔相匹配，并嵌入圓形硅橋3的錐形孔中。

其中：方形硅芯2或圓形硅芯4頂端的錐形高度均為30±5mm。?