[實用新型]光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置有效
| 申請號： | 201320048356.3 | 申請日： | 2013-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN203069523U | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 吳周令;陳堅;王煒;黃明 | 申請（專利權）人： | 合肥知常光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/71 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務所 34115 | 代理人： | 金凱 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 表面 吸收 缺陷 高分辨率 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置，其特征在于：包括有相對被測樣品前表面設置的泵浦光源，設置于泵浦光源和被測樣品之間的高倍數、高數值孔徑光學聚焦系統，相對被測樣品后表面設置的紅外濾波器，依次設置于紅外濾波器后端的紅外信號收集系統和紅外探測系統。
2.根據權利要求1所述的光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置，其特征在于：所述的紅外探測系統是由紅外探測器及放置于其前端的空間濾波器組成。
3.根據權利要求1所述的光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置，其特征在于：所述的泵浦光源和光學聚焦系統之間設置有泵浦激光束調制器和泵浦激光束整形擴束裝置。
4.?根據權利要求1所述的光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置，其特征在于：所述的光學表面及亞表面吸收缺陷的高分辨率檢測裝置還包括有用于固定樣品的裝夾掃描裝置。
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