[實(shí)用新型]顯影液噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320043417.7
• 申請(qǐng)日: 2013-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203037995U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖宇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/30
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/30
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯影工藝，特別是涉及一種顯影液噴淋裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示屏制備工藝中，曝光顯影技術(shù)應(yīng)用十分廣泛，傳統(tǒng)的顯影技術(shù)是通過(guò)在曝光后的基板上方設(shè)置顯影液噴淋裝置將顯影液均勻的噴灑在基板表面上，實(shí)現(xiàn)對(duì)曝光后光刻膠的顯影。

傳統(tǒng)的顯影液噴淋裝置包括設(shè)置在基板上方的多根相互平行的噴管，噴管的中心軸線與基板的運(yùn)動(dòng)方向相垂直，每根噴管上均設(shè)置有多個(gè)間隔一定距離的噴嘴，噴嘴開(kāi)口朝向基板表面。噴管與顯影液供應(yīng)單元連接，將顯影液供應(yīng)至噴管內(nèi)，通過(guò)噴嘴噴射至基板表面。由于噴嘴在噴管上均勻設(shè)置，所有的噴嘴分布形成規(guī)則的行列形式，這樣容易造成顯影液在基板表面噴灑不均勻。并且，相鄰噴管上噴嘴間距離較近，會(huì)相互干擾，會(huì)引起顯影不良現(xiàn)象出現(xiàn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何提高顯影液在基板表面噴淋的均勻性，并能夠避免相鄰噴管上噴嘴之間的干擾。

（二）技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種顯影液噴淋裝置，包括：多根設(shè)置在基板上方的相互平行的噴管，以及與所述噴管相連的顯影液供應(yīng)單元；所述噴管上開(kāi)設(shè)有多個(gè)噴嘴，通過(guò)所述噴嘴向所述基板表面噴淋顯影液；所述噴管相對(duì)于所述基板的運(yùn)動(dòng)方向傾斜設(shè)置，相鄰的兩根噴管上的噴嘴沿噴管的中心軸線方向交替設(shè)置。

其中，所述噴管的中心軸線與所述基板的運(yùn)動(dòng)方向所成的夾角在80°~85°之間。

其中，相鄰的兩根噴管中，其中第一噴管上的一個(gè)噴嘴距離第二噴管上交替排列在該一個(gè)噴嘴兩側(cè)的兩個(gè)噴嘴的距離相等。

其中，相鄰的兩根噴管之間的距離相等。

其中，每根噴管上，相鄰兩個(gè)噴嘴之間的距離相等。

（三）有益效果

上述技術(shù)方案所提供的顯影液噴淋裝置，通過(guò)將噴管相對(duì)于基板運(yùn)動(dòng)方向傾斜設(shè)置，能夠延長(zhǎng)基板正上方所對(duì)應(yīng)的噴管的長(zhǎng)度，增加噴嘴的設(shè)置數(shù)量，提高顯影液噴淋的均勻性；相鄰兩根噴管上噴嘴的交替設(shè)置，能夠使噴嘴的分布更加均勻，減少?lài)娮熘g的相互干擾，提高顯影液噴淋的良率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的顯影液噴淋裝置的應(yīng)用示意圖。

其中，1：基板；2：噴管；3：噴嘴。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。

圖1示出了本實(shí)施例顯影液噴淋裝置的應(yīng)用示意圖，參照?qǐng)D示，本實(shí)施例顯影液噴淋裝置用于向曝光后的基板噴淋顯影液，其具體包括：多根設(shè)置在基板1上方的相互平行的噴管2，以及與所述噴管2相連的顯影液供應(yīng)單元（圖中未示出）；所述噴管2上開(kāi)設(shè)有多個(gè)噴嘴3，通過(guò)所述噴嘴3向所述基板1表面噴淋顯影液；對(duì)于顯示區(qū)域面積一定的基板1，為了增加基板1上方噴嘴3的數(shù)量，提高顯影液噴淋的均勻性，本實(shí)施例將所述噴管2相對(duì)于所述基板1的運(yùn)動(dòng)方向（圖1中箭頭所示及標(biāo)注v的方向）傾斜設(shè)置，所述噴管2在所述基板1上方的有效長(zhǎng)度增加，在該有效長(zhǎng)度上所設(shè)置的噴嘴3的數(shù)量也會(huì)相應(yīng)增加，能夠提高顯影液噴淋的均勻性；進(jìn)一步地，相鄰的兩根噴管2上的噴嘴3沿噴管2的中心軸線方向交替設(shè)置，即所有噴嘴3形成的行列布局中，每一行噴嘴3與所述基板1的運(yùn)動(dòng)方向呈一定夾角，將相鄰兩根噴管2上的噴嘴3投影到噴管2的中心軸線方向上，相鄰兩根噴管2上的噴嘴3在其投影的中心軸線方向上交替分布，該種設(shè)置方式能夠?qū)崿F(xiàn)噴嘴3在基板1的運(yùn)動(dòng)方向上以及噴管2的中心軸線方向上均勻分布，以任一個(gè)噴嘴3為中心，其周?chē)膰娮?均勻分布，能夠減少?lài)娮?之間的相互干擾，提高顯影液噴淋的良率。

優(yōu)選地，所述噴管2的中心軸線與所述基板1的運(yùn)動(dòng)方向所成的夾角在80°~85°之間，以使噴嘴3的設(shè)置數(shù)量在滿足噴嘴之間互不干擾的情況下達(dá)到最多。若該夾角過(guò)大，則不能有效的增加基板1上方噴管2的長(zhǎng)度，相應(yīng)地不能有效增加噴嘴3的設(shè)置數(shù)量；若該夾角過(guò)小，在保證相鄰噴管2之間距離以及相鄰噴嘴3之間距離的情況下，難以實(shí)現(xiàn)相鄰的兩根噴管2上的噴嘴3沿噴管2的中心軸線方向交替分布的效果，容易使得噴嘴3的行排布趨近于與基板1的運(yùn)動(dòng)方向相一致，這樣使得噴嘴3在垂直于基板1的運(yùn)動(dòng)方向上不能實(shí)現(xiàn)交替分布，對(duì)顯影液的均勻噴淋帶來(lái)不良影響。

本實(shí)施例中，相鄰的兩根噴管2中，其中第一噴管上的一個(gè)噴嘴距離第二噴管上交替排列在該一個(gè)噴嘴兩側(cè)的兩個(gè)噴嘴的距離相等，所述噴嘴在噴管的中心軸線方向的投影與位于相鄰噴管上的兩相鄰噴嘴在所述噴管的中心軸線方向的投影之間的距離相等。