[實用新型]五氟化磷氣體發生器

有效

• 申請號: 201320038624.3
• 申請日: 2013-01-24
• 公開（公告）號: CN203048599U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 黃銘;黃博
• 申請（專利權）人: 成都牧甫生物科技有限公司;黃銘;黃博
• 主分類號: C01B25/10
• 分類號: C01B25/10
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司 51100
• 代理人: 江曉萍

1.五氟化磷氣體發生器，其特征在于機架相對應位置上分別裝有第一支撐座、第二支撐座，罐體沿重心水平中心線的兩端分別通過第一旋轉軸頭、第二旋轉軸頭安裝在第一支撐座、第二支撐座上，第一旋轉軸頭通過蝸輪蝸桿減速機受旋轉電動機帶動，罐體罐口處有密封罐蓋，支承在罐體攪拌軸承中的攪拌軸的第一端通過攪拌減速機受攪拌電動機帶動而伸入罐體中的第二端端頭裝有攪拌槳，位于攪拌槳上端的破拱槳裝在攪拌軸上，罐體上裝有加熱元件、測溫元件，保溫套套在罐體外周邊上，罐體上有進氣體通道和五氟化磷氣體輸出管道。

2.如權利要求1所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于攪拌槳的底面為與罐體內壁同心的圓弧面。

3.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于破拱槳上有長度相異的數根攪拌棒。

4.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于罐體上的進氣體通道設置在第二旋轉軸頭上。

5.如權利要求1或2所述的五氟化磷氣體發生器，其特征在于罐體攪拌軸承處裝有水冷密封套。