[發明專利]大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置

無效

• 申請號: 201310754676.5
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103726032A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 熊禮威;崔曉慧;汪建華;翁俊;龔國華
• 申請（專利權）人: 武漢工程大學
• 主分類號: C23C16/517
• 分類號: C23C16/517;C23C16/511;C23C16/513;C23C16/26
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 崔友明

1.一種大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，包括諧振腔、石英管反應腔、多個微波源和多個微波輸入系統，所述微波源產生的微波通過所述微波輸送系統送入所述諧振腔內，所述石英管反應腔位于所述諧振腔內，所述諧振腔為空心五棱柱，空心五棱柱的五個面分別對應不同的微波源和微波輸入系統。

2.根據權利要求1所述的大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，所述石英管反應腔的一端設有反應氣體輸入口，另一端設有真空抽氣接口。

3.根據權利要求2所述的大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，所述反應氣體輸入口與氣體流量計連接。

4.根據權利要求2所述的大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，所述真空抽氣接口與真空泵和真空測量連接。

5.根據權利要求1所述的大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，所述石英管反應腔上設有觀察窗。

6.根據權利要求1所述的大體積微波等離子體制備類金剛石薄膜的裝置，其特征在于，所述石英管反應腔內設有基片架。