[發明專利]真空反應腔以及真空加工設備

有效

• 申請號: 201310753412.8
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103695860A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 王軼南;張福剛;張巍;劉祖宏;侯智;吳代吾
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/00;C25F3/02;C25F7/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 黃燦;呂品

技術領域

本發明涉及光伏產業、半導體、液晶面板產業的真空刻蝕與真空鍍膜設備，特別是涉及一種真空反應腔以及真空加工設備。

背景技術

光伏產業、半導體、液晶面板產業中經常用到的真空刻蝕設備或真空鍍膜設備中的真空反應腔一般采用不透明的金屬材質制造而成。這種真空反應腔一般會設置透明石英玻璃材質的觀察窗，以便于操作者在生產異常時或者出于某種目的監測時觀察真空設備內部情況。

現有的真空加工設備的觀察窗均不包括保護設施，這致使觀察窗長期裸露在制程反應環境中，一段時間后，觀察窗會因為玻璃霧化而無法正常使用，不得不定期更換，浪費大量人力、物力，同時間接降低設備的稼動率；而且部分反應制成需要操作者通過觀察窗探測反應物和生成物光譜以控制反應時間，由于觀察窗被電漿霧化，導致光譜探測不精確并進一步導致刻蝕不充分，嚴重影響產品品質；另外一方面，真空反應腔室的內壁板會受到刻蝕過程中電漿和反應物的刻蝕，導致內壁板氧化層缺失，內壁板導電，大大縮短了內壁板的使用壽命，浪費大量資金，同時壁板更換也浪費了人力，并降低設備稼動率，影響生產效率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種有效隔離反應物及離子轟擊對觀察窗的傷害的，有效提高觀察窗的使用壽命的真空反應腔以及真空加工設備。

本發明的真空反應腔，包括多個壁板，多個所述壁板圍合形成用于容納工件的腔室，多個所述壁板中至少一個壁板上設置有觀察裝置，所述觀察裝置包括設置于所述壁板上的觀察窗以及設置于所述壁板的面向腔室的內部的一側的用于遮擋觀察窗的遮擋板，所述遮擋板可在遮擋所述觀察窗的第一位置以及不遮擋所述觀察窗的第二位置之間運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述遮擋板與用于帶動所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間運動的運動桿連接，所述運動桿由所述腔室的內部伸出。

本發明的真空反應腔，其中，所述運動桿由所述腔室的內部伸出的一端連接有彈簧管，所述彈簧管通過壓縮帶動所述運動桿向所述腔室的內部運動以使所述遮擋板由所述第二位置運動至所述第一位置，所述彈簧管通過伸長帶動所述運動桿向所述腔室的外部運動以使遮擋板由所述第一位置運動至所述第二位置。

本發明的真空反應腔，其中，所述彈簧管的一端與所述運動桿的由所述腔室的內部伸出的一端連接，所述彈簧管的另一端連接有手柄，所述手柄通過帶動所述彈簧管伸長或壓縮以使所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述真空反應腔還包括用于帶動所述彈簧管伸長或壓縮的動力機構，所述彈簧管的一端與所述運動桿的由所述腔室的內部伸出的一端連接，所述彈簧管的另一端與所述動力機構連接，所述動力機構通過帶動所述彈簧管伸長或壓縮以使所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述動力機構包括：

用于帶動所述彈簧管伸長或壓縮以使所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間運動的動力部件；

控制器，所述控制器與所述動力部件連接，所述控制器通過控制所述動力部件的運動控制所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間的運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述動力部件為電機，所述電機的輸出軸與所述彈簧管的另一端連接，所述控制器與所述電機連接，所述控制器通過控制所述電機的運動控制所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間的運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述動力部件為氣缸，所述氣缸的活塞桿與所述彈簧管的另一端連接，所述控制器與所述氣缸連接，所述控制器通過控制所述氣缸的活塞桿的運動控制所述遮擋板在所述第一位置和第二位置之間的運動。

本發明的真空反應腔，其中，所述觀察窗的上方、下方分別設置有第一溝槽以及與第一溝槽相對的第二溝槽，所述遮擋板可滑動地安裝于所述第一溝槽以及所述第二溝槽之間，所述第一溝槽以及第二溝槽用于對在所述第一位置和第二位置之間運動的所述遮擋板導向。

本發明的真空反應腔，其中，所述第二溝槽的槽底可旋轉地設置有滾珠，所述遮擋板通過所述滾珠可滑動地安裝于所述第二溝槽內。

本發明的真空反應腔，其中，所述運動桿位于所述腔室的內部的部分鑲嵌于所述壁板的內部。

本發明的真空反應腔，其中，所述運動桿位于所述腔室的內部的部分的外側設置有防護板。

本發明的真空反應腔，其中，多個所述壁板中至少一個壁板上設置有多個所述觀察裝置，多個所述觀察裝置的所述遮擋板分別通過連接桿與所述運動桿連接，以使所述運動桿同時帶動多個所述觀察裝置的所述遮擋板運動。