[發明專利]一種隔離窗固定結構以及腔室

在審

• 申請號: 201310749675.1
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN104752260A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 武學偉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種隔離窗固定結構，用于將所述隔離窗固定設置在腔室上方，其特征在于，所述隔離窗固定結構包括固定件，所述固定件包括第一固定部和設置在所述第一固定部外沿的第二固定部，所述第二固定部用于固定設置在所述腔室的側壁上，所述第一固定部用于設置在所述隔離窗上方并與所述隔離窗固定連接，所述固定件中設置有冷卻水路，所述冷卻水路用于通入冷卻水。

2.根據權利要求1所述的隔離窗固定結構，其特征在于，所述隔離窗固定結構還包括墊圈和第一緊固件，所述第一固定部下表面設置有第一安裝孔，所述墊圈上設置有第二安裝孔，所述墊圈用于設置在所述隔離窗的下表面，所述第一緊固件用于穿過所述的第二安裝孔和預設在所述隔離窗上的通孔安裝在所述第一安裝孔中，以將所述墊圈、所述隔離窗與所述第一固定部連接。

3.根據權利要求2所述的隔離窗固定結構，其特征在于，所述墊圈由銅材制成。

4.根據權利要求2所述的隔離窗固定結構，其特征在于，所述隔離窗固定結構還包括緩沖件，所述緩沖件能夠設置在所述墊圈和所述隔離窗之間。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的隔離窗固定結構，其特征在于，所述固定件由金屬材料制成。

6.一種腔室，所述腔室上方設置有隔離窗，其特征在于，所述腔室還包括權利要求1至5中任意一項所述的隔離窗固定結構，所述固定件的第一固定部設置在所述隔離窗上方并與所述隔離窗固定連接，所述固定件的第二固定部固定設置在所述腔室的側壁上。

7.根據權利要求6所述的腔室，其特征在于，所述隔離窗上設置有通孔，所述隔離窗固定結構還包括墊圈和第一緊固件，所述第一固定部下表面設置有第一安裝孔，所述墊圈上設置有第二安裝孔，所述墊圈設置在所述隔離窗下表面，所述第一緊固件穿過所述第二安裝孔和所述通孔安裝在所述第一安裝孔中，以將所述墊圈、所述隔離窗與所述固定件連接。

8.根據權利要求6所述的腔室，其特征在于，所述第一固定部的下表面與所述隔離窗的上表面之間設置有第一密封圈。

9.根據權利要求6所述的腔室，其特征在于，所述第二固定部的下表面與所述腔室的側壁的上表面之間設置有第二密封圈。