[發明專利]真空滑閥

在審

• 申請號: 201310741557.6
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103899762A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 托馬斯·布萊哈
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K1/32;F16K31/44;F16K31/122;F16K51/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種真空滑閥，該真空滑閥具有：

·閥壁(1)，該閥壁具有通口(2)和圍繞該通口(2)的閥座(3)，

·關斷板(4)，該關斷板具有用于基本氣密地封閉該通口(2)的關閉側(5)，

·承載該關斷板(4)的至少一個閥桿(6)，

·與所述至少一個閥桿(6)連接的驅動單元(7)，該驅動單元被如此構造，使得：通過所述至少一個閥桿(6)在基本沿幾何縱軸線(8)的縱閉方向(z)上的移動，該關斷板(4)能夠從該關斷板(4)放開該通口(2)的打開位置(O)移動到該關斷板(4)覆蓋該通口(2)且該關閉側(5)相對于該閥座(3)間隔對置的中間位置(I)，并且通過所述至少一個閥桿(6)在基本沿垂直于該縱軸線(8)延伸的幾何橫軸線(9)的橫閉方向(y)上的移動，該關斷板(4)能夠從該中間位置(I)移動到該關斷板(4)的關閉側(5)基本垂直壓到閥座(3)上且基本氣密地封閉該通口(2)的關閉位置(C)，并且該關斷板(4)能夠被再次回移，和

·具有真空區(11)的閥體(10)，在該真空區內設置有該通口(2)、該閥座(3)和該關斷板(4)，所述至少一個閥桿(6)穿過該閥體(10)內的至少一個氣密封套(13)能沿該縱軸線(8)和該橫軸線(9)運動地從該真空區(11)被引導到設于該真空區(11)外且布置有該驅動單元(7)的驅動區(12)，

其特征在于，

·所述至少一個閥桿(6)與該驅動單元(7)的設置在該驅動區(12)內的滑動部件(14)剛性固定連接，

·利用該驅動單元(7)的在驅動區(12)內的導向機構(22)，該滑動部件(14)能在該關斷板(4)處于打開位置(O)的第一位置(PO)和該關斷板(4)處于中間位置(I)的第二位置(PI)之間平行于該縱軸線(8)而不可轉動地被引導并能沿該縱軸線(8)滑動，其中一旦該導向機構(22)到達所述第二位置(PI)就會阻止該滑動部件(14)在縱閉方向(z)上繼續移動，并且該滑動部件(14)能在所述第二位置(PI)和該關斷板(4)處于關閉位置(C)的第三位置(PC)之間平行于橫軸線(9)不可轉動地被引導并能沿該橫軸線(9)滑動，

·該驅動單元(7)具有線性致動器(15)，該線性致動器具有能平行于該縱軸線(8)直線移動的移位部件(16)，并且

·該移位部件(16)通過傾斜連接機構(17a；17b)與該滑動部件(14)機械連接，使得：

該移位部件(16)當在縱閉方向(z)上直線移動時向該滑動部件(14)施加相對于縱閉方向(z)傾斜取向的力，該力具有在縱閉方向(z)和橫閉方向(y)上的力分量，以使該滑動部件(14)從所述第一位置(PO)移入所述第二位置(PI)和從所述第二位置(PI)移入所述第三位置(PC)，并且在該滑動部件(14)在該第二位置(PI)上在縱閉方向(z)上被鎖定的情況下，借助該移位部件(16)在縱閉方向(z)上的直線移動來實現該滑動部件(14)在橫閉方向上(y)移動到所述第三位置(PC)中，

至少一個支承部件(18)在與縱閉方向(z)相反的方向上從該滑動部件(14)剛性突出，其中該支承部件(18)的指向與該縱閉方向(z)相反的方向上的自由端(19)具有指向該橫閉方向(y)的接觸面(20)，

該滑動部件(14)布置在該關斷板(4)和該接觸面(20)之間，并且

該接觸面(20)如此在第二位置(PI)和第三位置(PC)上與剛性固定連接至該閥壁(1)的支座(21)對置，使得該支承部件(18)的自由端(19)在關閉位置(C)上在橫閉方向(y)上支承在該支座(21)上。

2.根據權利要求1所述的真空滑閥，其特征在于，該導向機構具有滑槽式導向機構(22)。