[發明專利]OLED蒸鍍機的蒸發源組件

有效

• 申請號: 201310739659.4
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103741096A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 鄒清華
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

技術領域

本發明涉及蒸鍍制程領域，尤其涉及一種OLED蒸鍍機的蒸發源組件。

背景技術

OLED作為新一代的固態自發光顯示技術，相較于液晶顯示具有超薄、響應度高、對比度高、功耗低等優勢，近幾年產業化速度突飛猛進。三星已經把AMOLED顯示屏應用于自家的智能手機上，獲得了非常好的市場。

請參閱圖1，為現有的一種OLED的結構示意圖，其包括：基板100、形成于基板100上的OLED器件300及與基板100貼合設置的封裝蓋板500，所述OLED器件300包括形成于基板100上的陽極302、形成于陽極302上的有機功能層304及形成于有機功能層304上的陰極306，陽極302與陰極306激發有機功能層304以實現顯示。

OLED的有機功能層，一般由三個功能層構成，分別為空穴傳輸功能層（Hole?Transport?Layer，HTL）、發光功能層（Emissive?Layer，EML）、電子傳輸功能層（Electron?Transport?Layer，ETL）。每個功能層可以是一層，或者一層以上，例如空穴傳輸功能層，有時可以細分為空穴注入層和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細分為電子傳輸層和電子注入層，但其功能相近，故統稱為空穴傳輸功能層，電子傳輸功能層。

目前OLED的主流的制備技術和方法是蒸鍍法，即在真空腔體內加熱有機小分子材料，使其升華或者熔融氣化成材料蒸汽，透過金屬光罩的開孔沉積在玻璃基板上。

OLED器件各層的厚度和摻雜比例對器件性能的影響很大，為了使沉積在基板各處的有機材料膜厚和摻雜比例均勻，點蒸發源的蒸鍍機的構造是讓基板在轉動狀態下沉積有機材料。但是點蒸發源的蒸鍍機材料利用率很低，約5%。后續開發的線蒸發源的蒸鍍機不但使有機材料膜厚的均一性更好，而且材料利用率提高到約20%。

不管是點蒸發源的蒸鍍機還是線蒸發源的蒸鍍機都會出現材料堵孔的幾率和現象。蒸發源由于坩堝、溫度、材料等原因，有機材料蒸汽在出氣口冷凝，逐漸堵住出氣口，導致速率逐漸減低，直至完全堵住；由于長時間鍍膜，擋板（source?shutter）上沉積的有機材料會逐漸變厚，有時會成片剝落，若剛好落在出氣口上，會直接擋住有機材料蒸汽。造成局部的有機材料膜厚或者摻雜比例異常，從而導致OLED效率和光色異常。這種情況下，只能把OLED材料降溫至室溫，再打開蒸鍍機腔體，處理完塞孔的蒸發源后，再關上蒸鍍機腔體，抽真空至1.0E-5Pa，才能開始加熱有機材料，使其鍍膜速率穩定，通常這一流程需要耗費幾十小時，對生產計劃有嚴重的影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種OLED蒸鍍機的蒸發源組件，其能在不打開蒸鍍機腔體的情況下對蒸發源出氣口進行疏通，極大地縮短了疏通時間，提高了蒸鍍機的利用率。

為實現上述目的，本發明提供一種OLED蒸鍍機的蒸發源組件，包括：承載平臺、設于承載平臺上的數個蒸鍍坩堝及設于承載平臺上的疏通機構，所述疏通機構包括豎臂、垂直連接于豎臂一端的橫臂及垂直連接于橫臂自由端的探針，所述豎臂可伸縮設置于承載平臺上，且相對承載平臺可旋轉，通過橫臂與豎臂控制探針對蒸鍍坩堝的出氣口進行疏通。

所述豎臂包括第一豎部及連接第一豎部的第二豎部，所述第一豎部可旋轉安裝于所述承載平臺上，所述第二豎部可相對第一豎部做伸縮運動，所述橫臂連接于第二豎部的自由端。

所述橫臂包括連接第二豎部的第一橫部及連接第一橫部的第二橫部，所述第二橫部可相對第一橫部做伸縮運動，所述探針安裝于所述第二橫部的自由端。

所述旋轉、伸縮運動通過伺服電機或氣動閥實現。

所述疏通機構的個數對應所述蒸鍍坩堝的個數設置；所述橫臂包括連接第二豎部的第三橫部，所述探針安裝于所述第三橫部的自由端。

所述疏通機構還包括基座，該基座安裝于承載平臺上，所述豎臂可滑動安裝于所述基座上，且該豎臂相對于所述基座可旋轉設置。

所述基座上設有滑槽，所述豎臂上相對所述滑槽設有滑塊，所述滑塊在滑槽中滑動，帶動所述豎臂相對所述基座滑動。

所述滑動通過伺服電機實現。

所述疏通機構還包括設于橫臂自由端的光源與圖像傳感器，用于觀察蒸鍍坩堝出氣口的堵塞與疏通狀況。

還包括電性連接圖像傳感器的顯示裝置。