[發明專利]正壓標準氣體流量計及正壓標準氣體流量測量方法

有效

• 申請號: 201310723047.6
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN103791951A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 盛學民;李得天;馮焱;魏萬印;張瑞芳;馬奔;董猛;楊長青
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: G01F1/34
• 分類號: G01F1/34;G01F25/00
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 孟阿妮

1.一種正壓標準氣體流量計，其特征在于，包括限流元件，所述限流元件具有相互連通的第一接氣孔和第二接氣孔，所述第一接氣孔通過第一管路連接微調閥門，所述第一管路上連接有壓力計，所述第二接氣孔通過第二管路分別連接第一閥門和第二閥門，所述第一閥門和所述第二閥門的氣路并聯，所述第二閥門通過第三管路連接真空計。

2.根據權利要求1所述的正壓標準氣體流量計，其特征在于，還包括第四管路，所述真空計連接有參考容積體，所述第四管路的一端與所述參考容積體連接、另一端與所述第三管路連接，所述第四管路上設置有第三閥門。

3.根據權利要求1或2所述的正壓標準氣體流量計，其特征在于，所述微調閥門上連接有能為所述限流元件提供氣體供應的供氣系統。

4.根據權利要求1或2所述的正壓標準氣體流量計，其特征在于，所述真空計為差壓式真空計。

5.一種采用權利要求1-4任一項所述的正壓標準氣體流量計的流量測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、開啟第一閥門及第二閥門，使外部氣體進入由所述限流元件、所述第一閥門、所述第二閥門、所述第二管路及所述第三管路所構成的固定體積容積空間；

步驟2、對第一管路進行供氣，通過所述微調閥門調節供氣的壓力，在所述壓力大于定于預定值時，在t₁時刻通過所述真空計測量獲知所述固定體積容積空間內的壓力P₁，再經過預定時長后在t₂時刻通過所述真空計測量獲知所述固定體積容積空間內的壓力P₂，并根據以下關系獲得正壓標準氣體流量Q：

其中V為固定體積容積空間的體積。

6.一種采用權利要求2所述的正壓標準氣體流量計的流量測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、開啟第一閥門、第二閥門及第三閥門，使外部氣體進入由所述限流元件、所述第一閥門、所述第二閥門、所述第三閥門、所述第二管路、所述第三管路、所述第四管路及所述參考容積體所構成的固定體積容積空間；

步驟2、對第二管路進行供氣，通過所述微調閥門調節供氣的壓力，在所述壓力大于定于預定值時，關閉所述第三閥門，且在關閉所述第三閥門后在t₁時刻通過所述真空計測量獲知所述固定體積容積空間內的壓力P₁，再經過預定時長后在t₂時刻通過所述真空計測量獲知所述固定體積容積空間內的壓力P₂，并根據以下關系獲得正壓標準氣體流量Q：

其中V為固定體積容積空間的體積。