[發(fā)明專利]一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310722802.9
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN103668464A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季泳;張偉
• 申請（專利權(quán)）人: 貴州藍(lán)科睿思技術(shù)研發(fā)中心
• 主分類號(hào): C30B33/02
• 分類號(hào): C30B33/02
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 谷慶紅

1.一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，主要包括依次相連的上料區(qū)域（1）、溫場加熱區(qū)域（2）及下料區(qū)域（3），其特征在于：所述溫場加熱區(qū)域（2）上方設(shè)置有氫氣微氣氛區(qū)域（4），在氫氣微氣氛區(qū)域（4）兩端分別設(shè)置有氫氣消耗裝置（7），所述氫氣消耗裝置（7）通過氫氣滲透孔（8）與氫氣微氣氛區(qū)域（4）連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述上料區(qū)域（1）設(shè)置有兩上料區(qū)輪轂（101）及連接兩上料區(qū)輪轂（101）的上料區(qū)傳動(dòng)履帶（102）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述溫場加熱區(qū)域（2）設(shè)置有兩溫場加熱區(qū)輪轂（201）及連接兩溫場加熱區(qū)輪轂（201）的溫場加熱區(qū)傳動(dòng)履帶（202）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述下料區(qū)域（3）設(shè)置有兩下料區(qū)輪轂（301）及連接兩下料區(qū)輪轂（301）的下料區(qū)傳動(dòng)履帶（302）。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述上料區(qū)傳動(dòng)履帶（102）上設(shè)置有隔絕材料層（5）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述上料區(qū)域（1）的上料區(qū)輪轂（101）與溫場加熱區(qū)域（2）的溫場加熱區(qū)輪轂（201）相切接觸，溫場加熱區(qū)域（2）的溫場加熱區(qū)輪轂（201）與下料區(qū)域（3）的下料區(qū)輪轂（301）相切接觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氫氣環(huán)境晶體高溫退火裝置，其特征在于：所述溫場加熱區(qū)域（2）為密封區(qū)域，在溫場加熱區(qū)域（2）內(nèi)充有氫氣，且溫場加熱區(qū)域（2）的壓強(qiáng)為3個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。