[發明專利]電容薄膜壓力傳感器

無效

• 申請號: 201310722200.3
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN103759881A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 馬奔;馮焱;張偉文;成永軍;孫雯君;盛學民;魏萬印;王迪
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 孟阿妮

1.一種電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，包括：

機架，具有內部空間；

薄膜，設置在所述機架內，并將機架的內部空間劃分為相互隔離的兩部分；

電極板，設置在所述兩部分中的任意一個中；

至少一個溫度補償單元，與機架連接，并且所述溫度補償單元的熱膨脹系數小于所述機架的熱膨脹系數。

2.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述溫度補償單元還連接在所述電極板上。

3.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述溫度補償單元具有環形結構。

4.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述溫度補償單元與所述機架的內壁面或外壁面連接。

5.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述機架為不銹鋼材料；和/或，

所述薄膜為柔性不銹鋼材料；和/或

所述溫度補償單元為因科鎳合金；和/或，

所述電極板為陶瓷材料。

6.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述電極板包括板體和柱體，所述柱體形成于所述板體的一面，從該面凸起并連接于所述機架的內部空間上。

7.根據權利要求6所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述板體的一面上形成有凹槽，所述柱體形成于所述凹槽內。

8.根據權利要求6或7所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述板體和所述柱體為一體結構。

9.根據權利要求1所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

以所述電極板所在的部分為參考室，另一部分為待測室，所述參考室具有抽氣孔；

所述待測室具有貫通所述機架并與外界連通的通氣孔。

10.根據權利要求1-7和9中任一項所述的電容薄膜壓力傳感器，其特征在于，

所述機架呈圓柱體，在沿所述圓柱體的軸線方向上，所述機架的內部空間，被所述薄膜劃分為兩個部分，以所述電極板所在的部分為參考室，所述溫度補償單連接于機架上靠近所述參考室的外平面。