[發(fā)明專利]49S石英晶體諧振器的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310721025.6
• 申請(qǐng)日: 2013-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103701424A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 珠海東精大電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H03H3/02
• 分類號(hào): H03H3/02
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 王賢義

1.一種49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：它包括以下步驟：

通過(guò)研磨機(jī)對(duì)石英晶片進(jìn)行研磨；

根據(jù)實(shí)際情況計(jì)算出返回頻率，根據(jù)返回頻率得出合適的腐蝕頻率后，利用酸性溶液對(duì)研磨后的石英晶片進(jìn)行腐蝕；

在低真空條件下，采用氮離子對(duì)石英晶片的表面進(jìn)行轟擊，清潔石英晶片的表面；

通過(guò)石英晶片的腐蝕頻率和晶體諧振器頻率差來(lái)確定膜層厚度之后進(jìn)行鍍膜，形成引出電極，并使其頻率達(dá)到規(guī)定范圍；

將鍍膜后的石英晶片裝在基座上，點(diǎn)上導(dǎo)電膠并高溫固化；

使用干式清洗裝置對(duì)石英晶片上的異物進(jìn)行進(jìn)一步掃除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述方法還包括：

采用氬離子轟擊晶體表面的電極，將多余的膜層材料打下來(lái)；

將基座與外殼放置在充滿氮?dú)獾沫h(huán)境中進(jìn)行封焊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述步驟h中的封焊方式為電阻焊或滾邊焊或玻璃焊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述步驟b與所述步驟c之間還包括用清水對(duì)腐蝕過(guò)的石英晶片進(jìn)行清洗并烘干的步驟。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述步驟b中的返回頻率為Δ=2*ρe*ζe/ρ*?T_f，式中；ρe為電極金屬的密度、ζe單面電極的厚度、ρ為水晶的密度、?T_f為腐蝕后石英片的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述步驟b中的酸性溶液為HF溶液或NH₄HF₂溶液中的至少一種,所述酸性溶液的工作溫度為65℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的49S石英晶體諧振器的制備方法，其特征在于：所述步驟c中的低真空條件是指1pa~2pa。