[發明專利]一種遠區等離子體噴槍裝置

無效

• 申請號: 201310720521.X
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN103747607A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 王紅衛;沈文凱
• 申請（專利權）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司
• 主分類號: H05H1/26
• 分類號: H05H1/26
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

技術領域

本發明屬于等離子體處理裝置，具體涉及一種遠區等離子體噴槍裝置。

背景技術

材料表面改性處理技術是當前普遍使用的材料制備技術之一，它是在一定的外界條件下，材料外部物質和材料表面發生物理或化學反應，從而使材料表面狀態發生變化或在材料表面產生新的元素和新的基團，最終滿足實際應用的需要。

但是，現代工業的迅猛發展對材料耐磨擦、磨損和抗腐蝕等性能提出了更高的要求，與此同時，對環保的要求也越來越高，從而有力地推動被稱為綠色生產工藝的材料等離子表面改性技術的不斷發展。在真空下，給反應氣體環境施加高頻電場，氣體在高頻電場的激勵下電離產生等離子體。并且有些物料（如導電物料）不能放在放點區域內進行等離子體處理。

因此亟需一種放電面積大，放電均勻的遠區等離子體產生裝置。

發明內容

為了解決現有技術中存在的上述問題，提供一種遠區等離子體噴槍裝置。

本發明所采用的技術方案是：一種遠區等離子體噴槍裝置，包括絕緣空心套管、上述絕緣空心套管內部設有至少兩個平行設置的中空槽體，上述每個中空槽體內設有等離子體噴槍，上述每個等離子體噴槍之間設有絕緣體，上述中空槽體的長度小于所述絕緣空心套管使得形成等離子體放電區。

優選的，上述中空槽體的邊緣為所述等離子體噴槍的陽極，上述等離子體噴槍中的陰極為金屬針電極。

優選的，上述絕緣空心套管為含氟聚合物套管。

優選的，上述絕緣空心套管為圓柱形空心套管。

優選的，上述絕緣空心套管為矩形空心套管。

優選的，上述絕緣空心套管為三角形空心套管。

優選的，上述等離子體噴槍對稱均勻設置在所述絕緣空心套管內。

優選的，上述絕緣空心套管為圓柱型空心套管上端還設有用于固定所述等離子體噴槍和絕緣體的固定裝置。

優選的，上述固定裝置為絕緣固定裝置。

優選的，還包括用于固定所述等離子體噴槍的上端蓋，所述上端蓋上對應每個等離子體噴槍都開設有通氣孔。

采用本技術方案的有益效果是：一種遠區等離子體噴槍裝置，包括絕緣空心套管、至少兩個均勻設置的等離子體噴槍，等離子體噴槍之間設有絕緣體，等離子體噴槍和絕緣體的長度小于絕緣空心套管使得形成等離子體放電區，在一個絕緣空心套管中設有多個等離子體噴槍，能較大面積進行氣體放電產生等離子體，多個等離子體噴槍均勻分布設置，能使放電區產生全面且均勻的等離子體，在普通的大氣環境下也能工作，本裝置使得待處理物料在遠區也能被更好地處理材料，使得材料表面改性處理效果較好。

附圖說明

為了使本發明的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本發明作進一步詳細的說明，其中：

圖1是本發明實施例1的剖面結構示意圖；

圖2是本發明實施例2的橫切面結構示意圖；

圖3是本發明實施例3的橫切面結構示意圖；

圖4是本發明實施例4的橫切面結構示意圖；

圖5是本發明實施例5的橫切面結構示意圖；

圖中，1.金屬針電極?2.絕緣體?3.絕緣空心套管?4.等離子體放電區?5.被處理板材?6.中空槽體?7.絕緣端蓋?8.上端蓋。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本發明的具體實施例。

實施例1

如圖1所示，包括絕緣套管、絕緣套管內部設有兩個平行設置的中空槽體6，還設有絕緣端蓋7，兩個平行的中空槽體6均勻分布在絕緣空心套管3的內部，絕緣空心套管3為含氟聚合物管，含氟聚合物管3為圓柱形，每個中空槽體內設有等離子體噴槍，等離子體的末端固定在絕緣端蓋7中，其中，中空槽體6的中空槽體邊壁為等離子體噴槍的陽極，等離子體噴槍中的陰極為金屬針電極1，每個等離子體噴槍之間設有絕緣體2，中空槽體的長度小于含氟聚合物套管3使得形成等離子體放電區4。

絕緣空心套管為圓柱型空心套管，上端還包括用于固定等離子體噴槍的上端蓋8，上端蓋8采用絕緣材料，上端蓋8上對應每個等離子體噴槍都開設有一個通氣孔。

工作時，兩個平行設置的等離子體噴槍同時工作，氣體從上端分別進入等離子噴槍，每個等離子體噴槍之間設有絕緣體，所以等離子放電區集中在等離子體噴槍的噴嘴處，在放電區集中放電產生等離子體。待處理物料安排在放點區域以外的區域進行等離子體處理。

實施例2

如圖2所示，其余與實施例1相同，不同之處在于，在緣套管內部設有五個平行設置的中空槽體，中空槽體在絕緣套管圍成的圓柱形中均勻分布。