[發(fā)明專(zhuān)利]分光計(jì)組件及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310711965.7
• 申請(qǐng)日: 2013-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103884696B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喬治·J.·歐肯法斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 唯亞威通訊技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/64
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/64;G01N21/01
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 張瑞;楊明釗

1.一種分光計(jì)組件，包括：

固定器，用于固定在受激勵(lì)光激勵(lì)時(shí)發(fā)射信號(hào)光的樣品；

第一信號(hào)濾光器，其被耦合到所述固定器，用于在第一信號(hào)透射波長(zhǎng)透射所述信號(hào)光的第一部分，同時(shí)阻擋所述激勵(lì)光；以及

第一光電探測(cè)器，其被耦合到所述第一信號(hào)濾光器，用于當(dāng)使用透射穿過(guò)所述第一信號(hào)濾光器的所述信號(hào)光的所述第一部分照射時(shí)，提供第一電信號(hào)，

其中，所述第一信號(hào)濾光器包括第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域包括交替堆疊的連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和電介質(zhì)層，所述第二區(qū)域由額外的電介質(zhì)層堆疊組成，并且

其中非微結(jié)構(gòu)化指的是或者完全平滑和連續(xù)的膜，或者是結(jié)構(gòu)化的膜，但是其內(nèi)沒(méi)有尺寸小于2微米的特征圖案。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，還包括第二信號(hào)濾光器，其被耦合到所述固定器，用于在第二信號(hào)透射波長(zhǎng)透射所述信號(hào)光的第二部分，同時(shí)阻擋所述激勵(lì)光；

第二光電探測(cè)器，其被耦合到所述第二信號(hào)濾光器，用于當(dāng)使用透射穿過(guò)所述第二信號(hào)濾光器的所述信號(hào)光的所述第二部分照射時(shí)，提供第二電信號(hào)，

其中，所述第二信號(hào)濾光器包括交替堆疊的連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和電介質(zhì)層，從而減少所述第二信號(hào)透射波長(zhǎng)的角敏感度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，還包括：

被耦合到所述固定器的散射濾光器，用于在散射透射波長(zhǎng)透射被散射的激勵(lì)光，同時(shí)阻擋所述信號(hào)光；以及

被耦合到所述散射濾光器的光電探測(cè)器，用于當(dāng)使用透射穿過(guò)所述散射濾光器的所述散射激勵(lì)光照射時(shí)，提供電信號(hào)，

其中，所述散射濾光器包括交替堆疊的連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和電介質(zhì)層，從而降低所述散射透射波長(zhǎng)的角敏感度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，還包括：

激勵(lì)光源，用于發(fā)射所述激勵(lì)光；以及

被耦合到所述激勵(lì)光源的第一激勵(lì)濾光器，用于在第一激勵(lì)透射波長(zhǎng)透射所述激勵(lì)光的第一部分，同時(shí)阻擋所述信號(hào)光；

其中所述固定器被耦合到所述第一激勵(lì)濾光器，用于接收透射穿過(guò)所述第一激勵(lì)濾光器的所述激勵(lì)光的第一部分；以及

其中所述第一激勵(lì)濾光器包括交替堆疊的連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和電介質(zhì)層，從而減少所述第一激勵(lì)透射波長(zhǎng)的角敏感度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分光計(jì)組件，還包括第二激勵(lì)濾光器，其被耦合到所述激勵(lì)光源，用于在第二激勵(lì)透射波長(zhǎng)透射所述激勵(lì)光的第二部分，同時(shí)阻擋所述信號(hào)光；

其中所述固定器被耦合到所述第二激勵(lì)濾光器，用于接收透射穿過(guò)所述第二激勵(lì)濾光器的所述激勵(lì)光的第二部分；以及

其中所述第二激勵(lì)濾光器包括交替堆疊的連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和電介質(zhì)層，從而降低所述第二激勵(lì)透射波長(zhǎng)的角敏感度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，其中所述連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和所述電介質(zhì)層的總厚度小于5微米。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分光計(jì)組件，其中所述連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層和所述電介質(zhì)層的總厚度小于1微米。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，其中所述連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層沒(méi)有小于200微米的特征圖案。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光計(jì)組件，其中所述連續(xù)的非微結(jié)構(gòu)化的金屬層包括銀或鋁。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的分光計(jì)組件，其中所述第一信號(hào)濾光器的所述電介質(zhì)層包括金屬氧化物。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的分光計(jì)組件，其中所述金屬氧化物選自由SiO₂，Ta₂O₅，Nb₂O₅，TiO₂，HfO₂和Al₂O₃組成的組。