[發(fā)明專利]一種提升晶體硅太陽電池光電轉換效率的擴散工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310693878.3
• 申請日: 2013-12-18
• 公開（公告）號: CN103633192A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 梅超;張文;黃治國;王鵬;柳杉;包兵兵;殷建安
• 申請（專利權）人: 上饒光電高科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/22
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 楊志宇

1.一種提升晶體硅太陽電池光電轉換效率的擴散方法，其特征為：具體步驟如下：

1）、電阻率為1-3ohm.cm的156mm╳156mm規(guī)格的P型多晶硅片，常規(guī)酸制絨；

2）、進入階段；

?3）、進槳階段；

4）、檢漏階段；

5）、升溫階段；

6）、前氧化階段；

7）、沉積階段；

8）、后氧化階段；

9）、推進階段；

10）、冷卻階段；

11）、進槳階段；

12）、退出階段。

2.一種提升晶體硅太陽電池光電轉換效率的擴散方法，其特征為：具體步驟如下：

1）、電阻率為1-3ohm.cm的156mm╳156mm規(guī)格的P型多晶硅片，常規(guī)酸制絨；

2）、進入階段：把多晶硅片推入荷蘭TEMPRESS擴散爐中，爐內(nèi)通入大氮氣5slm，溫度810℃，壓力15pa，持續(xù)時間10min；

?3）、進槳階段：爐內(nèi)通入大氮氣5slm，溫度810℃，壓力15pa，持續(xù)時間10min；

4）、檢漏階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，溫度810℃，壓力-200pa，持續(xù)時間5min；

5）、升溫階段：爐內(nèi)通入大氮氣20slm，溫度810℃，壓力15pa，持續(xù)時間20min；

6）、前氧化階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，通入氧氣350?sccm，溫度810℃，壓力15pa，持續(xù)時間5min；

7）、沉積階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，通入氧氣350?sccm，小氮氣1200?sccm，溫度810℃，壓力15pa，持續(xù)時間15min；

8）、后氧化階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，通入氧氣500?sccm，小氮氣30?sccm，溫度840℃，壓力15pa，持續(xù)時間10min；

9）、推進階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，通入氧氣4500?sccm，小氮氣30?sccm，溫度880℃，壓力15pa，持續(xù)時間20min；

10）、冷卻階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，溫度800℃，壓力15pa，持續(xù)時間15min；

11）、進槳階段：爐內(nèi)通入大氮氣10slm，溫度800℃，壓力-30pa，持續(xù)時間10min；

12）、退出階段：爐內(nèi)溫度800℃，壓力5pa，持續(xù)時間15min，把多晶硅片從在荷蘭TEMPRESS擴散爐中推出。