[發(fā)明專利]一種深紫外激光拉曼光譜儀

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310691001.0
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN104713865A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發(fā)明（設計）人: 李燦;馮兆池;金少青;范峰滔;張瑩;董延寶
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: G01N21/65
• 分類號: G01N21/65
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 劉陽

1.一種深紫外激光拉曼光譜儀，主要由深紫外激光激發(fā)光源、深紫外真空光路系統(tǒng)、深紫外真空分光系統(tǒng)和深紫外區(qū)信號采集/數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)四部分構(gòu)成,其特征在于：采用波長在177.3nm、193-210nm連續(xù)可調(diào)的深紫外激光作為激發(fā)光源。

2.按權(quán)利要求1所述深紫外激光拉曼光譜儀，所述深紫外真空光路系統(tǒng)采用真空腔內(nèi)的深紫外區(qū)橢圓球面鏡設計，樣品的散射信號源和分光系統(tǒng)的入射狹縫分別位于深紫外區(qū)橢圓球面鏡的兩個焦點F₁和F₂上，利用橢圓球面鏡內(nèi)反射原理，將深紫外光散射信號直接收集到分光系統(tǒng)中。

3.按權(quán)利要求2所述深紫外激光拉曼光譜儀，其特征在于：所述真空腔內(nèi)的深紫外區(qū)橢圓球面鏡設計中，橢圓軸兩個焦點F₁和F₂位于截取橢圓球面鏡橢圓軸外，有利于對樣品進行升溫處理，進行原位深紫外拉曼光譜的采集。

4.按權(quán)利要求1所述深紫外激光拉曼光譜儀，其特征在于：所述深紫外真空分光系統(tǒng)采用品字形排布的真空三聯(lián)光柵深紫外光譜儀，前兩聯(lián)光譜儀采用色散相減結(jié)構(gòu)，第三聯(lián)光譜儀實現(xiàn)深紫外拉曼信號的分光，能夠得到截止波數(shù)低至200cm^-1的深紫外拉曼譜圖。

5.按權(quán)利要求1所述深紫外激光拉曼光譜儀，其特征在于：深紫外激光激發(fā)光源、深紫外真空光路系統(tǒng)和深紫外真空分光系統(tǒng)都是基于10^-2Pa以下真空進行的設計，并具備高純氮氣連續(xù)吹掃的功能；深紫外激光激發(fā)光源、深紫外真空光路系統(tǒng)、深紫外真空分光系統(tǒng)和深紫外區(qū)響應的光電耦合器件均采用可透深紫外光的真空光學元件進行真空隔離。

6.按權(quán)利要求1、2、4、5所述深紫外激光拉曼光譜儀，其特征在于：能夠進行氣體、液體和固體樣品的177.3nm、193-210nm區(qū)域的深紫外拉曼光譜測試，能夠附件210-240nm的紫外激光作為激發(fā)光源，用于紫外拉曼光譜的測試。