[發明專利]一種微槽結構的超精密表面光整加工方法

在審

• 申請號: 201310675792.8
• 申請日: 2013-12-11
• 公開（公告）號: CN104708518A
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 諶祖輝;范惲;鄭小紅;范敏;霍登平;龍龍
• 申請（專利權）人: 中國航空工業第六一八研究所
• 主分類號: B24B19/02
• 分類號: B24B19/02
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 杜永保

1.一種微槽結構的超精密表面光整加工方法，其特征在于，包括：

（1）將粘接上工件的定位塊固定在研拋機床工作臺上，所述工件中部帶有微槽，所述研拋機床工作臺上帶有微力傳感器；

（2）將研拋輪安裝在研拋機床主軸上；

（3）研拋輪與工件微槽部位相對運動，研拋輪與工件接觸時，微力傳感器產生電壓信號，記錄微力傳感器產生電壓信號時研拋輪與工件的運動坐標，確定研拋輪與工件的相對運動范圍；

（4）在所述研拋輪與工件的相對運動范圍內，使研拋輪相對工件加工面往復運動，進行研拋加工。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟（3）包括：

（301）將研拋輪移動至工件微槽的右上方；

（302）研拋輪向下與工件上表面接觸，工件向下擠壓研拋機床，微力傳感器產生電壓信號，研拋機床記錄工件上表面豎直方向Y軸坐標；

（303）繼續將研拋輪向下進給3μm距離，壓住工件上表面；

（304）由工作臺拖動工件向右移動，研拋輪落入工件微槽內，微力傳感器電壓信號消失；

（305）研拋輪在工件微槽內在水平方向做往復運動，當研拋輪接觸到工件微槽的左右側壁時，研拋機床上微力傳感器產生電壓信號，研拋機床記錄工件微槽左右側壁在左右方向X軸的坐標；

（306）工作臺拖動工件移動，使研拋輪處于工件微槽上部正中的位置；

（307）研拋輪向下運動，與工件微槽槽底接觸，研拋機床上微力傳感器產生電壓信號，研拋機床記錄工件微槽槽底表面在豎直方向Y軸的坐標；

（308）使工件沿微槽開口方向前后運動，研拋輪擠壓工件，研拋機床上微力傳感器產生電壓信號，研拋機床記錄工件微槽槽底表面在前后方向Z軸的坐標；

（309）研拋輪在工件微槽槽底在水平方向做往復運動，當研拋輪接觸到工件微槽的左右側壁時，研拋機床上微力傳感器產生電壓信號，研拋機床記錄工件微槽槽底左右側壁在左右方向X軸的坐標；

（310）工作臺拖動工件移動到使研拋輪處于槽底正中的位置，記錄工件微槽起始加工位置在左右方向X軸的坐標。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

（5）加工完成后，用潔凈的汽油和酒精1∶1混合液超聲波清洗工件；

（6）將工件拆卸保存。