[發明專利]微機電系統元件、電子裝置、高度計、電子設備及移動體在審
| 申請號： | 201310670469.1 | 申請日： | 2013-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN103864002A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 松沢勇介;茅野祐治 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225 | 代理人： | 黃威;蘇萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 系統 元件 電子 裝置 高度計 電子設備 移動 | ||
1.一種微機電系統元件，其特征在于，具備：
基板；
多個諧振子，其被形成在所述基板的第一面上，
在所述基板上具備至少一個可撓部和至少一個非可撓部，
所述多個諧振子包括與所述可撓部對應的所述諧振子、和與所述非可撓部對應的所述諧振子。
2.如權利要求1所述的微機電系統元件，其特征在于，
具備被形成在所述基板的第一面上并被密封的空間部，
所述多個諧振子被配置于所述空間部內。
3.如權利要求1所述的微機電系統元件，其特征在于，
所述可撓部為，被形成在所述基板的與所述第一面處于表背關系的第二面側的凹部的底部。
4.如權利要求1所述的微機電系統元件，其特征在于，
包括半導體裝置。
5.一種電子裝置，其特征在于，具備：
基板；
多個諧振子，其被形成在所述基板的第一面上，
在所述基板上具備至少一個可撓部和至少一個非可撓部，
所述多個諧振子具備：
微機電系統元件，其包括與所述可撓部對應的所述諧振子、和與所述非可撓部對應的所述諧振子；
保持單元，其使所述微機電系統元件的所述基板的與所述第一面處于表背關系的第二面側露出并保持在壓力變動區域中，
在所述壓力變動區域中露出至少一個所述可撓部、和至少一個所述非可撓部。
6.如權利要求5所述的電子裝置，其特征在于，
具備空間部，所述空間部被形成在所述基板的第一面上并被密封，
所述多個諧振子被配置于所述空間部內。
7.如權利要求5所述的電子裝置，其特征在于，
所述可撓部為，被形成在所述基板的與所述第一面處于表背關系的第二面側的凹部的底部。
8.如權利要求5所述的電子裝置，其特征在于，
包括半導體裝置。
9.一種電子設備，其特征在于，具備：
基板；
多個諧振子，其被形成在所述基板的第一面上，
在所述基板上具備至少一個可撓部和至少一個非可撓部，
所述多個諧振子具備：
微機電系統元件，其包括與所述可撓部對應的所述諧振子、和與所述非可撓部對應的所述諧振子；
保持單元，其使所述微機電系統元件的所述基板的與所述第一面處于表背關系的第二面側露出在壓力測量對象區域中，并使至少一個所述可撓部、和至少一個所述非可撓部露出并保持在所述壓力測量對象區域中；
數據處理部，其對所述微機電系統元件的測量數據進行處理。
10.如權利要求9所述的電子設備，其特征在于，
具備被形成在所述基板的第一面上的被密封的空間部，
所述多個諧振子被配置于所述空間部內。
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