[發明專利]磁鏡場真空電弧過濾器在審
| 申請號: | 201310665475.8 | 申請日: | 2013-12-11 |
| 公開(公告)號: | CN104711516A | 公開(公告)日: | 2015-06-17 |
| 發明(設計)人: | 陳大民 | 申請(專利權)人: | 陳大民 |
| 主分類號: | C23C14/22 | 分類號: | C23C14/22 |
| 代理公司: | 無 | 代理人: | 無 |
| 地址: | 116600 遼寧省大連*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 磁鏡 真空 電弧 過濾器 | ||
【權利要求書】:
1.?一種磁鏡場真空電弧過濾器,包括過濾器殼體(11)、磁過濾筒(12)、等離子體約束區(4)和等離子體逸出區(6),其特征在于在等離子體約束區(4)左端的磁過濾筒(12)與過濾器殼體(11)之間裝有磁鏡線圈A(3),在等離子體約束區(4)右端的磁過濾筒(12)與過濾器殼體(11)之間裝有磁鏡線圈B(5),磁鏡線圈B(5)裝在等離子體逸出區(6)的圓周上。
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