[發(fā)明專利]一種相干光時(shí)域反射測(cè)量方法及反射儀裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310658852.5
• 申請(qǐng)日: 2013-12-06
• 公開（公告）號(hào): CN103763021A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊昕昱;何祖源;劉慶文;杜江兵;謝峰;馬麟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 何祖源;上海正海資產(chǎn)管理有限公司
• 主分類號(hào): H04B10/071
• 分類號(hào): H04B10/071
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 邵驊

1.一種相干光時(shí)域反射測(cè)量方法，其特征在于：采用測(cè)試脈沖光獲取被測(cè)器件的散射/反射信息，采用本地脈沖光與散射/反射回來(lái)的光信號(hào)進(jìn)行干涉，通過調(diào)整測(cè)試脈沖光和本地脈沖光各自的重復(fù)頻率，完整的構(gòu)造出反射/散射光信號(hào)，再經(jīng)光電轉(zhuǎn)換和模數(shù)轉(zhuǎn)換，獲取散射/反射光位置信息；所述測(cè)試脈沖光和本地脈沖光的脈寬與所需空間分辨率相適應(yīng)，相鄰脈沖距離遠(yuǎn)大于脈寬。

2.一種采用權(quán)利要求1方法的相干光時(shí)域反射儀裝置，其特征在于：包括激光器、光分束器、一對(duì)脈沖發(fā)生裝置、光循環(huán)器、光電檢測(cè)器；所述激光器產(chǎn)生的激光經(jīng)過光分束器后分成兩束，一束稱為測(cè)試光，一束稱為本地光；兩束光分別經(jīng)過一對(duì)脈沖發(fā)生裝置后形成測(cè)試脈沖光以及本地脈沖光；測(cè)試脈沖光通過光循環(huán)器進(jìn)入被測(cè)器件，被測(cè)器件中散射或反射回來(lái)的光信號(hào)與本地脈沖光進(jìn)行干涉，再經(jīng)過光電檢測(cè)器進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換從而獲取被測(cè)器件的散射/反射信息。