[發明專利]一種改造后的硅片清洗機用槽體

在審

• 申請號: 201310658607.4
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN104690030A
• 公開（公告）日: 2015-06-10
• 發明（設計）人: 武衛;翟洪升;嚴政先;孫希凱;劉建偉
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08
• 代理公司: 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司 12211
• 代理人: 孫春玲

技術領域

本發明創造涉及硅片加工的機械類領域，具體是一種改造后的硅片清洗機用槽體。

背景技術

隨著半導體硅片行業競爭的日益加大，增強清洗能力以便于產能的提升成為必然的趨勢，SFQ-1508ZT型腐前清洗機清洗能力不能滿足實際生產的需要，需要對其進行改進。老式SFQ-1508ZT型腐前清洗機槽體均是采用塑料結構，內部設有超聲裝置，制造成本高而且針對于晶向為100的硅片，清洗效果能力弱。而且對于一些摻雜劑是硼元素，電阻率小于1的客戶，清洗效果基本沒有，所以導致這些客戶的大量流失，對于搶占市場帶來了不小的困難。

發明內容

本發明創造要解決的問題是針對老式的腐前清洗機存在的問題從清洗機的結構和材質上進行改進，公開一種改造后的硅片清洗機用槽體。

為解決上述技術問題，本發明創造采用的技術方案是：一種改造后的硅片清洗機用槽體，槽體1的上沿周向有水平外沿2，水平外沿2上設置有溢流通道4，在水平外沿2的下方，沿槽體壁的外側周向設置有一圈蓄水槽3，溢流通道4與蓄水槽3連通，蓄水槽3的底部設有排水管道7。

優選地，所述槽體1的水平外沿2的邊緣有向上的凸邊5。

更優選的，所述凸邊5的外邊周向有水平外凸邊6。

優選地，所述槽體1是不銹鋼槽體，槽體內還設置有進水管道和出水管道。

本發明創造具有的優點和積極效果是：改造后的清洗機用槽體相對于老式的清洗機槽體增加了溢流裝置，可以保證槽體內清洗液不斷地循環更新，進而提高了對于硅片產品的洗滌效果，使得經過洗滌后的硅片產品的合格率相對于現有技術得到很大的提升，除此之外，改造后的清洗機用槽體的外沿呈凹槽狀，可以有效的防止清洗液溢流循環時出現外溢的現象。

附圖說明

圖1是本發明創造的一種使用狀態的結構示意圖；

圖2是圖1中A-A截面的結構示意圖；

圖3是現有的硅片清洗機用槽體的結構示意圖；

圖4是圖3中A-A截面的結構示意圖。

具體實施方式

本發明創造公開的是清洗機用的槽結構，相對于現有的只有槽體11和槽體外延12槽結構而言，其特征是本發明創造的槽體1的上沿周向有水平外沿2，水平外沿2上設置有溢流通道4，在水平外沿2的下方槽體壁的外側周向設置有一圈蓄水槽3，蓄水槽3的底部設有排水管道7。槽體1的上沿的水平外沿的2外邊周向有向上的凸邊5，向上的凸邊5的外邊周向有水平外凸邊6。本發明創造中的槽體1是不銹鋼槽體，槽體內還設置有進水管道和出水管道。且本發明創造中的槽體尤其是對于硅片清洗機中的水洗槽做出的改進。

在洗滌硅片產品時，將硅片按照要求放入盛有清洗劑的清洗機槽體1內進行清洗，在清洗過程中還可以同時開啟槽體的進水管道，使槽體內不斷有新的清洗劑涌入，上層的使用過的清洗劑便會通過槽體1外延上的溢流通道4進入到蓄水槽3中，并通過蓄水槽3的排水管道7排出，使得槽體1內的清洗劑不斷更新，達到更好的清洗效果。

以上對本發明創造的實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明創造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本發明創造范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內。