[發明專利]一種改造后的硅片清洗機用槽體在審
| 申請號： | 201310658607.4 | 申請日： | 2013-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN104690030A | 公開（公告）日： | 2015-06-10 |
| 發明（設計）人： | 武衛;翟洪升;嚴政先;孫希凱;劉建偉 | 申請（專利權）人： | 天津中環領先材料技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 孫春玲 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改造 硅片 清洗 機用槽體 | ||
【權利要求書】：
1.一種改造后的硅片清洗機用槽體，槽體（1）的上沿周向有水平外沿（2），其特征在于：水平外沿（2）上設置有溢流通道（4），在水平外沿（2）的下方，沿槽體壁的外側周向設置有一圈蓄水槽（3），所述溢流通道（4）與所述蓄水槽（3）連通，蓄水槽（3）的底部設有排水管道（7）。
2.根據權利要求1所述的槽體，其特征在于：所述槽體（1）水平外沿（2）的邊緣有向上的凸邊（5）。
3.根據權利要求2所述的槽體，其特征在于：所述凸邊（5）的外邊周向有水平外凸邊（6）。
4.根據權利要求1-3任一項所述的槽體，其特征在于：所述槽體（1）是不銹鋼槽體，槽體內還設置有進水管道和出水管道。
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