[發明專利]一種拼貼法制備單片集成電容觸摸屏的動態電子掩模板系統

有效

• 申請號: 201310655256.1
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN103631095A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 曲魯杰;梅文輝;敦士軍
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00;G03F9/00;G06F3/044
• 代理公司: 廣東中億律師事務所 44277
• 代理人: 覃向紅;杜海江

1.一種拼貼法制備單片集成電容觸摸屏的動態電子掩模板系統，其特征在于它包括：

基板承載系統：包括承載板和整列方式排列在承載板上的小片玻璃；

視覺識別系統：用于識別承載板身份和排列在承載板上的各小片玻璃位置，生成承載板身份信息和各小片玻璃坐標位置信息；

填充圖形設計系統：用于設計各小片玻璃的填充圖形；

圖像數據處理系統:用于識別承載板身份信息、各小片玻璃坐標位置信息和填充圖形；

動態數字化掩膜圖形調整系統：用于從圖像數據處理系統中讀取填充圖形，根據各小片玻璃坐標位置信息，將填充圖形填充到對應的位置，形成動態數字化掩膜模擬圖形；

電子掩膜板系統：用于將動態數字化掩膜模擬圖形以可視化形式顯示出來，形成需要曝光的電子掩膜。

2.根據權利要求1所述的拼貼法制備單片集成電容觸摸屏的動態電子掩模板系統，其特征在于該系統按照如下步驟制備單片集成電容觸摸屏：

A、母板及小片玻璃制作

a、將大片玻璃切割成若干個小片玻璃；

b、將各小片玻璃進行高溫化學強化并處理玻璃邊緣；

c、將強化處理后的各小片玻璃按照預定掩模圖形位置定位排列在曝光大片玻璃托架上，并在小片玻璃上設計定位標識，以便曝光視覺系統對小片玻璃進行準確的定位；

B、承載母板玻璃絲印

a、承載母板清洗烘干后固定在貼片臺上，并通過對位標識及坐標原點確定承載母板在貼片臺上的位置；

b、按照掩膜板對應填充圖形位置，制作網板，通過視覺識別系統自動對位，絲印網板上對位標識與母板對位標識套合完全后絲印水溶性粘合劑；

C、小片玻璃對位貼合

a、將小片玻璃固定于發料機上，通過視覺識別系統圖像掃描，辨識出小片玻璃黑色內邊框，并以固定一點為識別坐標點；

b、通過貼片機械手，按照掩膜板中預定小片玻璃位置，對應母板零點，以識別坐標點，將小片玻璃按照相應位移進行對位貼合在承載母板上；

D、識別小片玻璃位置和角度

視覺識別系統在X方向和Y方向進行兩維掃描整個承載母板上每個小片玻璃的圖形，同時在Z方向進行整版高度掃描，通過圖形成像后邊緣灰階的差異來抓取圖形邊緣，計算出曝光圖形填充的準確中心位置，高度和角度；

E、曝光圖形填充至小片玻璃位置

將需要曝光的曝光圖形填充至小片玻璃定位框內，形成符合小片玻璃定位的動態數字化掩膜模擬圖形；

F、生成電子掩膜

動態數字化掩膜模擬圖形輸入至電子掩膜板系統中，電子掩膜板系統將動態數字化掩膜模擬圖形轉化后顯示在電子掩膜板上，形成需要曝光的電子掩膜板；

G、曝光光刻

在形成電子掩膜板后，開啟曝光程序對小片玻璃進行圖形曝光。