[發明專利]靶材組件濺射面的處理方法在審
| 申請號： | 201310643252.1 | 申請日： | 2013-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN104668883A | 公開（公告）日： | 2015-06-03 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;趙凱;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;袁海軍 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23P13/02 | 分類號： | B23P13/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張亞利;駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 組件 濺射 處理 方法 | ||
1.一種靶材組件濺射面的處理方法，其特征在于，包括：
提供靶材組件，所述靶材組件由靶材和背板焊接而成，對所述靶材組件濺射面進行粗加工，將焊接過程中產生的氧化層去除；
對所述粗加工后的靶材組件濺射面進行精加工，去除在該濺射面上進行粗加工時留下的刀紋，并且能夠減薄粗加工在該濺射面上形成的應力層厚度；
對所述精加工后的靶材組件濺射面進行拋光處理。
2.如權利要求1所述的處理方法，其特征在于，
所述精加工后，所述拋光處理的步驟之前，還包括對所述精加工后的靶材組件的濺射面進行磨削處理。
3.如權利要求2所述的處理方法，其特征在于，所述磨削處理為采用磨床加工，將所述精加工后的靶材組件的濺射面去除0.4～0.8毫米。
4.如權利要求2所述的處理方法，其特征在于，所述磨削處理包括第一磨削處理、第一磨削處理之后的第二磨削處理，
所述第一磨削處理的參數為：磨床主軸轉速為1500～2500轉/分鐘，進給量為0.12～0.16毫米/分鐘，第一磨削量為0.3～0.5毫米；
所述第二磨削處理的參數為：磨床主軸轉速為1500～2500轉/分鐘，進給量為0.08～0.10毫米/分鐘，第二磨削量為0.2～0.3毫米。
5.如權利要求4所述的處理方法，其特征在于，采用粒度為400目～600目的金剛石砂輪進行第一磨削。
6.如權利要求4所述的處理方法，其特征在于，采用粒度為800目～1200目的金剛石砂輪進行第二磨削。
7.如權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述粗加工為在普通車床上進行車削加工，將所述焊接后形成的靶材組件濺射面去除0.3～0.5毫米。
8.如權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述精加工為在數控車床上車削加工，將所述粗加工后的靶材組件的濺射面去除0.1～0.2毫米。
9.如權利要求2所述的處理方法，其特征在于，所述拋光處理去除所述磨削后的濺射面0.05～0.1毫米。
10.如權利要求1所述的處理方法，其特征在于，所述靶材的材料為鉭或鉭合金。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于寧波江豐電子材料股份有限公司;，未經寧波江豐電子材料股份有限公司;許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310643252.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：鈦合金彈性卡圈的加工工藝
- 下一篇：一種扭轉減振器的安裝方法及其裝置
