[發(fā)明專(zhuān)利]一種具有異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的雙極型功率半導(dǎo)體器件

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310637564.1
• 申請(qǐng)日: 2013-11-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103887333A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何敏;陳思哲;王玨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 杭州恩能科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L29/739
• 分類(lèi)號(hào): H01L29/739;H01L29/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種具有異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)的雙極型功率半導(dǎo)體裝置，其特征：柵極電極；源極電極和漏極電極；?

含有基于IV族化合物半導(dǎo)體碳化硅(SiC)的異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)，并與所述柵極電極，源極電極和漏極電極形成歐姆接觸。?

2.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，表層半導(dǎo)體形成控制電流導(dǎo)通與關(guān)斷的溝道。?

3.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，表層溝道的形成或是垂直型，或是平面型，溝道開(kāi)通和關(guān)斷的控制方式可以是結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)控制或者金屬-絕緣層-半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)控制。?

4.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，柵極電極和源極電極分別位于器件正面，漏極電極位于器件背面。

5.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，導(dǎo)通過(guò)程中由電子和空穴兩種導(dǎo)電粒子共同作用，為雙極型器件。?

6.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，導(dǎo)電溝道和外延區(qū)域是同類(lèi)半導(dǎo)體材料。?

7.如權(quán)利1要求所述的器件，其中，襯底材料與外延層及器件溝道為異質(zhì)半導(dǎo)體材料。?