[發明專利]多量程叉指電容式濕度傳感器在審
| 申請號： | 201310633521.6 | 申請日： | 2013-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN103675041A | 公開（公告）日： | 2014-03-26 |
| 發明（設計）人： | 薛惠瓊;王瑋冰;田龍坤 | 申請（專利權）人： | 江蘇物聯網研究發展中心 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 無錫市大為專利商標事務所 32104 | 代理人： | 曹祖良;劉海 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多量 程叉指 電容 濕度 傳感器 | ||
1.一種多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：包括多個連接在一起的傳感器單元（12），所述傳感器單元（12）包括一對叉指狀的上電極（2）和下電極（1），下電極（1）和上電極（2）穿過SiO2氧化層（10）設置在硅基底（8）的同一表面上，上電極（2）的叉指和下電極（1）的叉指呈叉指狀交錯排列，在上電極（2）和下電極（1）的叉指之間填充濕度敏感介質（7）；在所述上電極（2）和下電極（1）的上方設置鋁條（3），鋁條（3）位于上電極（2）和下電極（1）的叉指之間，在鋁條（3）和上電極（2）之間填充濕度敏感介質（7）；在所述上電極（2）和下電極（1）正下方的硅基底（8）上形成空腔（9），使下電極（1）、上電極（2）以及下電極（1）和上電極（2）叉指間的濕度敏感介質（7）直接與空氣接觸；所述傳感器單元（12）由鋁條（3）串聯在一起。
2.如權利要求1所述的多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：所述上電極（2）和下電極（1）分別包括兩層金屬層，兩層金屬層之間由鎢塞（13）連接。
3.如權利要求1所述的多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：所述上電極（2）和下電極（1）采用金屬鋁。
4.如權利要求1所述的多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：所述濕度敏感介質（7）為聚酰亞胺。
5.如權利要求1所述的多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：所述每個傳感器單元（12）分別由壓焊塊（11）連接在硅基底（8）上表面。
6.如權利要求1所述的多量程叉指電容式濕度傳感器，其特征是：所述每個傳感器單元（12）的叉指面積不同。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇物聯網研究發展中心，未經江蘇物聯網研究發展中心許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310633521.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
