[發明專利]掃描機臺程式控制方法

有效

• 申請號: 201310631420.5
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103646059B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: 徐燕菁;陳旭;邵雄
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,陶金龍

1.一種掃描機臺程式控制方法，其特征在于，包括步驟：

步驟S1：定義掃描程式的機臺目錄及文件位置；

步驟S2：控制系統連接至各掃描機臺的掃描程式文件位置；

步驟S3：控制系統獲取掃描程式文件列表信息，并對文件進行解析；其中，當控制系統上無掃描程式關鍵值文件存儲時，即：步驟S3中第一次獲取掃描程式文件列表信息、并對文件進行解析時，提取掃描程式信息后，生成初始掃描程式關鍵值文件；而當控制系統上已存儲有掃描程式關鍵值文件時，則重復執行步驟S3，此時，控制系統通過獲取掃描程式文件列表信息和對文件的解析，自動獲取掃描程式機臺目錄中文件的更新狀態；

步驟S4：提取掃描程式信息，生成掃描程式關鍵值文件，并存儲至控制系統；其中，各掃描機臺中的掃描程式的機臺目錄均采用相同的定義規則，以及掃描程式的.xml文件中掃描設定關鍵值采用相同的命名；

當掃描程式機臺目錄中文件有新增、刪除或修改時，控制系統更新掃描程式關鍵值文件中掃描程式的信息；即：當掃描程式機臺目錄中文件有更新時，執行步驟S4，更新掃描程式關鍵值文件；當掃描程式機臺目錄中文件無更新時，不執行步驟S4，間隔一定時間后，再次執行步驟S3。

2.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，所述控制系統周期性的、定時自動獲取掃描程式機臺目錄中文件的更新狀態。

3.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，所述機臺目錄包括掃描程式的產品信息和半導體結構層信息。

4.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，所述 文件位置包括掃描機臺信息。

5.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，所述控制系統通過FTP方式連接至各掃描機臺的掃描程式文件位置。

6.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，還包括對掃描程式的查詢和調取步驟，該步驟中，將掃描程式關鍵值文件從控制系統備份至本地，進行所需關鍵值的查詢和調取。

7.根據權利要求1所述的掃描機臺程式控制方法，其特征在于，所述掃描機臺包括各條生產線上對全部產品、各半導體結構層進行缺陷掃描所需的全部掃描機臺；所述掃描程式包括所述全部掃描機臺上設置的全部掃描程式；所述文件位置包括所述掃描程式的全部.xml文件被指定的文件位置。