[發明專利]一種提高真空面源黑體均勻性的精細劃分控制系統

有效

• 申請號: 201310629300.1
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN103677012B
• 公開（公告）日: 2016-11-02
• 發明（設計）人: 楊旺林;魏建強;劉亞平;張玉國;張虎
• 申請（專利權）人: 北京振興計量測試研究所
• 主分類號: G05D23/24
• 分類號: G05D23/24
• 代理公司: 北京君尚知識產權代理事務所(普通合伙) 11200
• 代理人: 余長江

1.一種提高真空面源黑體均勻性的精細劃分控制系統，其特征在于包括溫度控制儀表、溫度傳感器、信號調理電路、面源黑體輻射源；所述面源黑體輻射源設有N個區域，每一區域設置一加熱片，所述信號調理電路為一分N信號調理電路；所述信號調理電路的電壓信號輸入端與所述溫度控制儀表的電壓信號輸出端連接，其每一電壓信號輸出端口分別經一程控電源與一所述加熱片連接；所述溫度傳感器設于所述面源黑體輻射源上，并通過數據線與所述溫度控制儀表的信號輸入端連接；其中，N為大于1的自然數。

2.如權利要求1所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述信號調理電路包括電源模塊、信號跟隨電路與增益可調的信號分路電路；所述電源模塊的輸入端與電源端口連接，其輸出端與所述信號跟隨電路的電源端、所述信號分路電路的電源端連接；所述信號跟隨電路的電壓信號輸出端經所述信號分路電路與所述程控電源連接。

3.如權利要求2所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述信號調理電路還包括兩去耦電路，分別與所述電源模塊的輸出端連接。

4.如權利要求2或3所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述信號跟隨電路為一運算放大器；所述運算放大器連接為電壓跟隨器形式。

5.如權利要求2或3所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述信號分路電路包括N個支路，每一支路為一同相放大器；所述同相放大器的信號輸入負端與信號輸出端之間連接一可變電阻。

6.如權利要求5所述的精細劃分控制系統，其特征在于每一所述支路分別經一金屬膜電阻與所述運算放大器的電壓信號輸出端連接。

7.如權利要求3所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述去耦電路包括并聯的M個相同電容值的電容，每一電容的一端與所述電源模塊的一輸出端連接，另一端與地線連接。

8.如權利要求2或7所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述電源模塊的輸出端與公共端之間分別并接一組濾波電容。

9.如權利要求1所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述溫度傳感器設置于所述面源黑體輻射源的中間部位。

10.如權利要求1所述的精細劃分控制系統，其特征在于所述加熱片為阻性加熱片。