[發(fā)明專利]一種菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的一體成型制作方法及其制成的產(chǎn)品

在審

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• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN103605448A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 許明旭;曾昭杰;敖龍華
• 申請（專利權）人: 廣東泰通科技股份有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044;G03F7/00
• 代理公司: 揭陽市博佳專利代理事務所 44252
• 代理人: 黃少松

技術領域

本發(fā)明涉及一種菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的制作方法及其制成的產(chǎn)品。

背景技術

電容式觸摸屏感應器線路圖的制作方法主要有印刷制程、鐳雕制程和黃光制程等；印刷制程工藝簡單，設備成本較低，但其線路精度只能做到0.1mm，而且線性度較差，觸控感應不靈敏，不適合大尺寸的感應器制作；鐳雕制程線路精度可達到0.05mm，但存在工藝效率和爆點問題，不適合復雜圖形的批量生產(chǎn)；黃光制程線路精度可達到0.04mm，線性度良好，觸控感應靈敏，支持復雜圖形的設計，是目前比較主流的生產(chǎn)方式。傳統(tǒng)的黃光制程工藝是對感應器的ITO層采用曝光顯影的制作方法，對金屬層采用銀漿印刷的方法，這樣的工藝需要兩次圖像成型，工序較為復雜，對上下層圖形的對位精準度要求較高，金屬層線寬較大，優(yōu)良率低。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是針對上述存在問題，提供一種簡化工藝、提高產(chǎn)品優(yōu)良率、降低生產(chǎn)成本的菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的制作方法及其制成的產(chǎn)品。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的一體成型制作方法，包括以下步驟：

a）、裁切預定尺寸的鍍銅ITO；

b）、涂布：在鍍銅ITO表面上涂敷液態(tài)光刻膠，并烘烤固化為光阻層；

c）、曝光：采用光罩對涂上光阻層的鍍銅ITO進行曝光；

d）、顯影：將曝光后的鍍銅ITO進行顯影；

e）、蝕刻金屬層：將顯影后的鍍銅ITO進行金屬圖案蝕刻；

f）、蝕刻ITO層；將蝕刻出金屬圖案后的鍍銅ITO進行ITO圖案蝕刻；

g）、剝膜：將蝕刻后的鍍銅ITO的光阻層進行剝離。

本發(fā)明的菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的一體成型制作方法，?

所述的步驟b）的涂布光刻膠厚度為4~7um，在120~130℃的高溫下烘烤，使光刻膠中的溶劑揮發(fā)并凝固在鍍銅ITO表面；

所述的步驟c）的曝光是在黃光環(huán)境下，有效波長范圍為200~400nm的紫外線從光罩面向光阻層和鍍銅ITO的垂直方向照射，對光阻層和鍍銅ITO的曝光能量范圍為200~300j/cm²；

所述的步驟d）的顯影是在黃光環(huán)境下，將曝光后的光阻層和鍍銅ITO浸泡在具有一定濃度和溫度的堿液中進行顯影，該顯影過程中用的堿液為氫氧化鈉或碳酸鈉溶液，其堿液濃度為0.1~1.0%wt，溫度為20~25℃，浸泡時間為50±20s；

所述的步驟e）的蝕刻金屬層是將顯影后的光阻層和鍍銅ITO浸泡在具有一定濃度和溫度的酸性液體蝕刻銅膜，蝕刻過程所用的溶液是雙氧水，溶液濃度為5~6%wt，溫度為30~40℃之間，浸泡時間為50±30?s；

所述的步驟f）蝕刻ITO層是將蝕刻后的光阻層和鍍銅ITO浸泡在具有一定濃度和溫度的酸液中進行蝕刻鍍銅ITO膜，蝕刻過程使用的酸液是硝酸或鹽酸，其酸液濃度為20±2%wt，溫度為30~50℃，浸泡時間為50±30s；

所述的步驟g）剝膜是將蝕刻出金屬圖案后的鍍銅ITO浸泡在具有一定濃度和溫度的堿液中進行剝膜，剝膜過程使用的堿液是氫氧化鈉或碳酸鈉溶液，其堿液濃度為2±0.5%wt，溫度為30±5℃，浸泡時間為40±10?s。

本發(fā)明，具有如下積極效果：

1）、采用一次曝光將ITO層圖案和金屬層圖案同時記錄在銅膜ITO上，再利用兩種不同的藥水對ITO層和金屬層分別進行蝕刻，使兩層圖案一體成型，解決了傳統(tǒng)黃光制程工藝圖案需要兩次成型的問題，因而，提高了菲林結構電容式觸摸屏的產(chǎn)品優(yōu)良率，降低了生產(chǎn)成本，具有較高的性價比優(yōu)勢；

2）、金屬層不采用銀漿印刷而改用曝光顯影的方法，令其線寬和線距可以達到0.04mm，同時解決了傳統(tǒng)絲印絕緣油方法的圖案不精確導致電容式觸摸屏線性度不好的問題。

所以，本發(fā)明，具有突出的實質性特點和顯著的積極效果。

本發(fā)明，具有簡化工藝、提高產(chǎn)品優(yōu)良率、降低生產(chǎn)成本的優(yōu)點。

下面實施例結合附圖說明對本發(fā)明作進一步的說明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明菲林結構電容式觸摸屏的觸控感應器線路圖的制作方法流程圖；

圖2是傳統(tǒng)的黃光工藝菲林結構電容式觸摸屏的觸控感應器線路圖的制作方法流程圖。

具體實施方式

實施例1：一種菲林結構電容式觸摸屏感應器線路圖的一體成型制作方法，包括以下步驟：

a）、裁切預定尺寸的鍍銅ITO；