[發明專利]硅片切削廢料中碳化硅回收劑及其制備方法

有效

• 申請號: 201310615229.1
• 申請日: 2013-11-28
• 公開（公告）號: CN103599850A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 吉衛宏;田疆
• 申請（專利權）人: 安徽蘇源光伏科技有限公司
• 主分類號: B03D1/018
• 分類號: B03D1/018;B03D101/00
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 方崢

技術領域

本發明涉及硅片線鋸工藝產生的砂漿中的硅與碳化硅的粉體分離技術領域，尤其涉及一種硅片切削廢料中碳化硅回收藥劑及其制備方法。

背景技術

????各種硅片，包括單晶硅和多晶硅太陽能電池片、微電子產業用的硅晶圓，普遍采用鋼絲線鋸配合碳化硅磨料漿切割生產，一下簡稱砂漿。硅片厚度一般為0.22mm，目前還沒有減薄的發展趨勢，線鋸縫寬度一般為0.18-0.30mm，這意味著將有20-60%的高純硅料成為鋸屑進入砂漿，其提取回收等于開辟一種新的規模可觀的高純硅原料來源。

????雖然回收高純硅的效益可觀，但是硅和碳化硅的物化性質較為接近，目前為止關于該項目的研究成果還很少，也沒有實際生產成功的案例，需要進一步研究可行的用于實際生產的分離藥劑和方法。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑及其制備方法，使用該藥劑碳化硅回收率高，碳化硅純度高。

本發明的技術方案如下：

一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑，其特征在于由下列重量份的原料制成：硫氮腈酯1-2、水楊酸2-3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1-2、硫化鈉1-2、異丙基乙基硫氨酯4-5、三硫代碳酸鈉1-2、2-萘磺酸鈉3-4、二聚酸4-5、松醇油5-7、檸檬酸1-2、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5-7、甲醇30-35、柴油45-50、助劑10-12、水30-34；所述的助劑由下列重量份的原料混合而成：12-15%鹽酸溶液20-24、乙醇40-45、擴散劑MF?3-4、水100。

所述的硅片切削廢料中碳化硅回收劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟：將水、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯、硫化鈉、異丙基乙基硫氨酯、2-萘磺酸鈉混合，加熱至45-55℃，加入二聚酸、松醇油、檸檬酸、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯，攪拌均勻，加熱至65-70℃，加入其他剩余成分，攪拌10-15分鐘，即得使用該浮選劑時，浮選劑與砂漿重量比為1：2-3；將砂漿與浮選劑混合，以1000-1200rad/min?的轉速攪拌4-6min，靜置時體系分層，上層為碳化硅、中間為液體層、下層為硅，刮取上層碳化硅，收集下層硅而實現分離。

本發明的有益效果

本發明藥劑能高效分離硅和碳化硅，工藝簡單、成本低廉,硅與碳化硅的富集率與回收率高。

具體實施方式

一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑，由下列重量份（公斤）的原料制成：硫氮腈酯1、水楊酸3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1、硫化鈉2、異丙基乙基硫氨酯4、三硫代碳酸鈉2、2-萘磺酸鈉4、二聚酸4、松醇油7、檸檬酸1、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5、甲醇30、柴油45、助劑12、水30；所述的助劑由下列重量份的原料混合而成：12-15%鹽酸溶液20、乙醇40、擴散劑MF?4、水100。

所述的硅片切削廢料中碳化硅回收劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟：將水、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯、硫化鈉、異丙基乙基硫氨酯、2-萘磺酸鈉混合，加熱至45-55℃，加入二聚酸、松醇油、檸檬酸、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯，攪拌均勻，加熱至65-70℃，加入其他剩余成分，攪拌10-15分鐘，即得。

使用該浮選劑時，浮選劑與砂漿重量比為1：2.5；將砂漿與浮選劑混合，以1100rad/min?的轉速攪拌5min，靜置時體系分層，上層為碳化硅、中間為液體層、下層為硅，刮取上層碳化硅，收集下層硅而實現分離。

該實施例收集的碳化中殘存的硅少于0.4%wt，砂漿中殘存的碳化硅少于5%wt。