[發明專利]運動臺反力抵消裝置在審
| 申請號： | 201310612812.7 | 申請日： | 2013-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN104678711A | 公開（公告）日： | 2015-06-03 |
| 發明（設計）人： | 李莉;楊輔強;朱岳彬 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;F16F15/04;F16F15/08 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 運動 臺反力 抵消 裝置 | ||
1.一種運動臺反力抵消裝置，安裝在地基與運動臺之間，包括：主動阻尼元件、速度測量元件、彈性元件、解耦機構以及線性導軌；其中，
所述線性導軌安裝在運動臺的電機定子下；
所述主動阻尼元件的一側與所述電機定子連接，所述主動阻尼元件的另一側與反力支撐架連接；
所述彈性元件的一側與所述電機定子相連，所述彈性元件的另一側與所述解耦機構連接；
所述解耦機構的另一端與光刻機的反力支撐架相連；
所述速度測量元件設置于所述電機定子上，用于測量電機定子的速度。
2.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，還包括調節螺桿，所述調節螺桿通過調節支座安裝在反力支撐架上，用于改變彈性元件的張力。
3.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，還包括位移測量元件，所述位移測量元件分別配置在電機動子和硅片臺、電機動子和電機定子之間，用于建立硅片臺自身的絕對位置坐標。
4.如權利要求3所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述位移測量元件采用光柵尺。
5.如權利要求3所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述電機定子通過電機安裝板與所述線性導軌連接，電機動子與長行程組件連接。
6.如權利要求5所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述位移測量元件通過位移測量元件連接板和電機連接板與長行程組件連接。
7.如權利要求5所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述主動阻尼元件通過主動阻尼元件連接板以及連接板與電機安裝板上的電機定子相連。
8.如權利要求5所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述速度測量元件通過速度測量元件連接板固定在所述電機安裝板上。
9.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述主動阻尼元件通過主動阻尼元件安裝板安裝在反力支撐架上。
10.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述主動阻尼元件采用音圈電機。
11.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述速度測量元件采用速度傳感器。
12.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述速度測量元件采用絕對速度反饋環。
13.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述解耦機構通過解耦機構安裝板固定在反力支撐架上。
14.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述解耦機構采用疊層橡膠。
15.如權利要求1所述的運動臺反力抵消裝置，其特征在于，所述彈性元件為彈簧。
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