[發明專利]太陽能電池拋光工藝在審

申請號：	201310600401.6	申請日：	2013-11-25
公開（公告）號：	CN103794677A	公開（公告）日：	2014-05-14
發明（設計）人：	葉權華;鄭飛	申請（專利權）人：	中電電氣（揚州）光伏有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;C30B33/10
代理公司：	揚州蘇中專利事務所(普通合伙) 32222	代理人：	孫忠明
地址：	211400 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	太陽能電池拋光工藝
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【權利要求書】：

1.一種太陽能電池拋光工藝，包括槽體和槽體內的電解液，其特征是，所述的電解液采用10~35%?濃度的HF溶液，陽極電極直接植入滾輪上，陽極電極和槽體內的陰極電極接電源，電流控制在不大于10A,?電壓控制在不大于36V,通過滾輪帶液的方式對硅片背面進行拋光處理，滾輪帶液轉動的時候陽極電極可與硅片接觸，從而使硅片形成陽極。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池拋光工藝，其特征是，所述所述電解液亦可是HF+H₃PO₄的混合溶液或堿溶液作為電解液，堿溶液為NaOH或KOH，濃度為10~50%。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池拋光工藝，其特征是，所述所述電解液采用HF溶液或HF+H₃PO₄的混合溶液時，陽極電極采用鉑電極；電解液采用磷酸時，陽極電極采用金作為電極，磷酸濃度為10~50%。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池拋光工藝，其特征是，所述所述滾輪電解液中可加入醋酸或醇輔助試劑。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池拋光工藝，其特征是，所述所述與硅片接觸的這部分滾輪采用惰性金屬導電材料制備，并與相鄰滾輪拼接。

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