[發(fā)明專利]高溫二次電子探測(cè)器收集組件及高溫掃描電鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310592456.7
• 申請(qǐng)日: 2013-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN103594310A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫占峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/244
• 分類號(hào): H01J37/244;H01J37/28;H01J37/26
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 李旦華

1.一種高溫二次電子探測(cè)器收集組件，包括標(biāo)準(zhǔn)二次電子探測(cè)器收集組件，其特征在于：還包括套設(shè)在所述標(biāo)準(zhǔn)二次電子探測(cè)器收集組件外的隔光套（10），所述隔光套（10）的材質(zhì)能夠阻擋可見光和紅外光，且所述隔光套（10）的一端為適合與光導(dǎo)管接頭連接的接口端（11），所述隔光套（10）的另一端為電子進(jìn)入端（12）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫二次電子探測(cè)器收集組件，其特征在于：所述隔光套（10）的所述電子進(jìn)入端（12）處還設(shè)置有用于吸收二次電子的吸收結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫二次電子探測(cè)器收集組件，其特征在于：所述吸收結(jié)構(gòu)為柵網(wǎng)（13），所述柵網(wǎng)（13）采用銅線制成，所述銅線的直徑為0.1mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的高溫二次電子探測(cè)器收集組件，其特征在于：所述隔光套（10）為鋁套。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的高溫二次電子探測(cè)器收集組件，其特征在于：所述隔光套（10）呈錐形，所述吸收結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述隔光套（10）的小端，所述接口端（11）設(shè)置在所述隔光套（10）的大端。

6.一種具有如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的高溫二次電子探測(cè)器收集組件的高溫掃描電鏡，其特征在于：還包括能對(duì)物鏡下極靴進(jìn)行隔熱的物鏡保護(hù)組件（2），所述物鏡保護(hù)組件（2）中心成型有適合電子束穿過的通孔（21），所述物鏡保護(hù)組件（2）上成型有由側(cè)壁向中心凹陷的凹口（22），所述高溫二次電子探測(cè)器收集組件（1）與所述物鏡保護(hù)組件（2）二者的軸線相互垂直時(shí)，所述高溫二次電子探測(cè)器收集組件（1）的所述電子進(jìn)入端（12）可無觸碰地穿過所述凹口（22），所述物鏡保護(hù)組件（2）上還成型有與所述物鏡下極靴上的適合光闌桿插入的光闌桿缺口相吻合的缺口（27）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：所述通孔（21）的直徑為3mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：所述物鏡保護(hù)組件（2）包括多個(gè)隔熱片（23），相鄰兩個(gè)所述隔熱片（23）之間留有間隙，且所述間隙中墊有隔環(huán)（24），所述隔熱片（23）和所述隔環(huán)（24）采用螺栓（25）連接在一起。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：所述隔熱片（23）采用鉭制成，所述隔熱片（23）的厚度為0.3mm，且所述隔熱片（23）設(shè)為三個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：相鄰兩個(gè)所述隔熱片（23）之間的所述間隙設(shè)為1.5mm。

11.根據(jù)權(quán)利要求6-10中任一項(xiàng)所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：所述物鏡保護(hù)組件（2）的一端端面上還設(shè)置有適于與所述物鏡下極靴套接的卡環(huán)（26），所述卡環(huán)（26）上成型有所述缺口（27）。

12.根據(jù)權(quán)利要求6-11中任一項(xiàng)所述的高溫掃描電鏡，其特征在于：所述高溫二次電子探測(cè)器收集組件（1）的所述電子進(jìn)入端（12）不朝向盛放樣品的樣品杯的敞口端設(shè)置。