[發明專利]單位掩模、掩模組件及制造有機發光二極管顯示器的方法

有效

• 申請號: 201310590557.0
• 申請日: 2013-11-20
• 公開（公告）號: CN103840091B
• 公開（公告）日: 2017-06-20
• 發明（設計）人: 李相信
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 王占杰,王秀君

技術領域

所描述的技術通常涉及一種由框架支撐的單位掩模以及一種掩模組件。

背景技術

平板顯示器的示例包括有機發光二極管（OLED）顯示器、液晶顯示器（LCD）以及等離子體顯示面板（PDP）。

為了制造OLED顯示器，一般需要以特定圖案形成電極并形成發射層。可利用使用掩模組件的沉積法來形成電極和發射層。

常規的掩模組件通常包括具有開口的框架和多個呈帶形的單位掩模。每個單位掩模的兩端與開口對應地延伸并被固定到框架上。單位掩模可包括與OLED顯示器的像素相對應的圖案化開口，從而可在母基板上制造OLED顯示器。每個單位掩模的圖案化開口可對應于單個OLED顯示器，并以與將形成在OLED顯示器中的電極或發射層相對應的形狀形成。

當需要高清晰度的OLED顯示器時，在單位掩模中形成精細的圖案化開口。為了達到上述目的，需要使單位掩模非常薄（μm，微米級），從而防止因沉積過程的特性造成的意料不到的沉積失誤。

然而，當單位掩模變得非常薄時，會難以將單位掩模的兩端焊接到框架上以使單位掩模固定到框架上。

而且，當單位掩模非常薄時，由于單位掩模的兩端延伸并被固定到框架，所以單位掩模會下垂穿過開口，或者單位掩模會因施加到單位掩模的張力而變形。

在本背景技術部分中公開的上述信息僅用于加強對所描述的技術的背景的理解，因此上述信息可包含不構成在本國本領域普通技術人員已知的現有技術的一部分。

發明內容

所描述的技術致力于提供一種具有在制造高清晰度的OLED顯示器時提高沉積可靠性的優點的單位掩模和掩模組件。

本發明的第一方面提供一種沿一個方向延伸并由包括開口的框架支撐的單位掩模，所述單位掩模包括：第一固定部件，位于開口中并固定到沿所述一個方向設置的框架的一個表面；第二固定部件，與第一固定部件間隔開并固定到沿所述一個方向設置的框架的另一個表面；以及掩模部件，由第一固定部件和第二固定部件保持在第一固定部件和第二固定部件之間。

掩模部件可沿與所述一個方向垂直的方向比第一固定部件和第二固定部件薄。

第一固定部件可包括彎曲并向下延伸穿過開口的第一彎曲延伸部，第二固定部件可包括彎曲且向下延伸穿過開口的第二彎曲延伸部，掩模部件可包括：主體，沿所述一個方向延伸；第一面對部件，彎曲并從主體延伸穿過開口并面對第一彎曲延伸部；以及第二面對部件，彎曲并從主體延伸穿過開口并面對第二彎曲延伸部。

單位掩模還可包括：第一塊體，位于框架和第一彎曲延伸部之間并接觸第一彎曲延伸部；第二塊體，面對第一塊體并接觸第一面對部件，第一彎曲延伸部和第一面對部件設置在第一塊體和第二塊體之間。

第二塊體可沿與所述一個方向垂直的方向比第一塊體厚。

單位掩模還可包括：第三塊體，位于第一彎曲延伸部和第一面對部件之間并接觸第一彎曲延伸部和第一面對部件。

單位掩模還可包括：第一緊固件，穿過第一彎曲延伸部、第一塊體、第一面對部件和第二塊體，以緊固第一彎曲延伸部、第一塊體、第一面對部件和第二塊體。

第一塊體的與第一彎曲延伸部接觸的表面和第二塊體的與第一面對部件接觸的表面可具有不平坦的形狀。

第一塊體的與第一彎曲延伸部接觸的表面、第二塊體的與第一面對部件接觸的表面以及第三塊體的與第一彎曲延伸部和第一面對部件接觸的表面可具有不平坦的形狀。

第二塊體的不平坦的表面可與掩模部件的主體間隔開。

第一彎曲延伸部可具有與第一塊體的不平坦的表面相對應的不平坦的形狀，第一面對部件可具有與第二塊體的不平坦的表面相對應的不平坦的形狀。

第一彎曲延伸部可接觸第一面對部件。

單位掩模還可包括：第四塊體，位于框架和第二彎曲延伸部之間并接觸第二彎曲延伸部；第五塊體，面對第四塊體并接觸第二面對部件，第二彎曲延伸部和第二面對部件位于第四塊體和第五塊體之間。

單位掩模還可包括：第六塊體，位于第二彎曲延伸部和第二面對部件之間并接觸第二彎曲延伸部和第二面對部件。

單位掩模還可包括：第二緊固件，穿過第二彎曲延伸部、第四塊體、第二面對部件和第五塊體，以緊固第二彎曲延伸部、第四塊體、第二面對部件和第五塊體。

本發明的第二方面提供一種掩模組件，其包括：框架，包括開口；以及單位掩模，沿一個方向延伸并由框架支撐。

本發明的第三方面提供一種制造OLED顯示器的方法，其包括：以特定圖案形成電極；以及使用掩模組件通過沉積在基板上形成發射層。