[發明專利]一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統

在審

• 申請號: 201310579586.7
• 申請日: 2013-11-16
• 公開（公告）號: CN104651925A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 祝軍武;高喜梅;張新麗
• 申請（專利權）人: 西安艾力特電子實業有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;G05B19/05
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 弋才富

技術領域

本發明涉及一種石英坩堝系統領域，特別是涉及一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統。

背景技術

真空電弧法生產石英坩堝設備是目前世界上生產坩堝最先進的技術設備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝。其特點是設備可操作性強，工藝成熟，產品利潤空間大，市場前景廣闊。石英玻璃坩堝是單晶硅生產中的關鍵必需品，是半導體產業的龍頭產業。廣泛應用于電子、化工等諸多行業。用電弧法制的半導體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今，世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。主要是采用電弧為熱源，離心成型為基礎，融化預先成型的高純石英粉料，通過抽真空制造高純度內層透明，外層乳白的石英坩堝裝置。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明的目的是提供一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統，包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器I、驅動電路I、驅動電路II和繼電器II；所述繼電器I與驅動電路I相連，所述驅動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅動電路II相連，所述驅動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。

所述主控制器為PLC可編程邏輯控制器。

本發明與現有技術相比具有以下優點：

1.本發明設計合理、結構簡單且電路部分連線簡單；

2.本系統的熔融裝置由加熱電極的打開、閉合及上升、下降二部分組成。電極的開閉和升降分別由二臺伺服電機控制，可在操作臺和機旁操作箱二處用按鈕點動操作。電極下降設有限位開關保護。便于操作和精確定位。

附圖說明

圖1為本發明的示意圖。

具體實施方式

參照圖1中，本發明采用的技術方案為一種石英坩堝熔制機新型熔融控制系統，包括主控制器以及與主控制器連接的繼電器I、驅動電路I、驅動電路II和繼電器II；所述繼電器I與驅動電路I相連，所述驅動電路I與電機I相連，所述電機I帶動電極上下運動；所述繼電器II與驅動電路II相連，所述驅動電路II與電機II相連，所述電機II帶動電極左右運動。

所述主控制器為PLC可編程邏輯控制器。

以上所述，僅是本發明的實施例，并非對本發明作任何限制，凡是根據本發明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發明技術方案的保護范圍內。