[發明專利]芯片測試系統及芯片測試方法

有效

• 申請號: 201310574106.8
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103576079A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 張大成;施瑾;劉遠華;顧春華;郝丹丹
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

技術領域

本發明涉及集成電路制造技術領域，特別涉及一種芯片測試系統及芯片測試方法。

背景技術

由于日益復雜的集成電路、材料和工藝的迅速引入，在今天的硅片制造中幾乎不可能每個芯片都符合規格要求。為糾正制作過程中的問題，并確保有缺陷的芯片不會被送到客戶手里，在集成電路制造過程中引入了芯片測試（CP，Circuit?Probing）。芯片測試是為了檢驗規格的一致性而在硅片級集成電路上進行的電學參數測量和功能測試。測試可以檢驗出各芯片是否具有可接受的電學性能和完整的功能，其測試過程中使用的電學規格隨測試目的的不同而有所不同。如果芯片測試不完善，就可能造成更多的產品在客戶使用過程中失效，最終給芯片制造者帶來嚴重的后果。為此在集成電路的制造過程中引入能夠及早發現工藝問題和將不良的芯片挑選出來的芯片測試是必不可少的。

芯片測試系統通常包括測試機（Automatic?Test?Equipment，ATE），測試機是能夠在待測器件上快速、準確、重復地測量亞微安級電流和毫伏級電壓的自動裝置。具體的，測試機將測試信號（在本申請文件中指除了時鐘信號以外的用以測試的信號）輸入到待測器件（DUT，Device?Under?Test）內，然后再接收該待測器件對于輸入信號的相應結果。在進行芯片測試時，往往還需要用到晶振以產生測試所需的時鐘信號。例如，在某些芯片的測試中對于時鐘信號的要求比較特殊，如19.44MHz的時鐘，是沒有辦法通過測試機給予，因此需要使用外接晶振來對待測器件提供時鐘信號。由于時鐘信號和測試信號由不同的器件產生/提供（其中時鐘信號由晶振提供，測試信號由測試機提供），因此這兩者之間往往會不同步，進而使得所得到的芯片測試結果不準確/不可靠。

因此，提供一種芯片測試系統，其能夠實現輸出的時鐘信號和測試信號同步，從而得到準確/可靠的芯片測試結果，成了本領域技術人員亟待解決的難題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種芯片測試系統及芯片測試方法，以解決現有的芯片測試系統中，時鐘信號和測試信號之間往往不同步，進而使得所得到的芯片測試結果不準確/不可靠的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種芯片測試系統，所述芯片測試系統包括：測試機、晶振及信號分析系統，所述測試機及晶振均與所述信號分析系統連接；所述測試機用以提供測試信號；所述晶振用以提供時鐘信號；所述信號分析系統用以獲取測試機輸出測試信號的信號輸出時間；其中，所述測試機根據信號輸出時間輸出測試信號。

可選的，在所述的芯片測試系統中，所述信號輸出時間根據時鐘信號的起振時間以及測試信號的輸出用時來確定。

可選的，在所述的芯片測試系統中，所述信號輸出時間根據時鐘信號的起振時間、高低電平的跳轉時刻以及測試信號的輸出用時來確定。

可選的，在所述的芯片測試系統中，當所述晶振每輸出一次時鐘信號時，所述信號分析系統便獲取與該次時鐘信號相對應的測試機輸出測試信號的信號輸出時間。

可選的，在所述的芯片測試系統中，所述測試機提供的測試信號包括電壓信號和/或電流信號。

可選的，在所述的芯片測試系統中，所述晶振提供的時鐘信號包括方波信號。

可選的，在所述的芯片測試系統中，還包括：與所述測試機連接的探針卡，及與所述探針卡連接的探針臺。

本發明還提供一種芯片測試方法，所述芯片測試方法包括：

晶振輸出時鐘信號，測試機輸出測試信號；

信號分析系統接收所述時鐘信號及測試信號，并獲取測試機輸出測試信號的信號輸出時間；

測試機根據信號輸出時間再次輸出測試信號。

可選的，在所述的芯片測試方法中，所述信號輸出時間根據時鐘信號的起振時間以及測試信號的輸出用時來確定。

可選的，在所述的芯片測試方法中，所述信號輸出時間根據時鐘信號的起振時間、高低電平的跳轉時刻以及測試信號的輸出用時來確定。

可選的，在所述的芯片測試方法中，當所述晶振每輸出一次時鐘信號時，所述信號分析系統便獲取與該次時鐘信號相對應的測試機輸出測試信號的信號輸出時間。

可選的，在所述的芯片測試方法中，所述測試機提供的測試信號包括電壓信號和/或電流信號。

可選的，在所述的芯片測試方法中，所述晶振提供的時鐘信號包括方波信號。