[發明專利]漏液偵測裝置

有效

• 申請號: 201310554330.0
• 申請日: 2013-11-08
• 公開（公告）號: CN103644458A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 任存生;蘇亞青;金見安;張旭升;張傳民;文靜;李陽柏
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及半導體制造的技術領域，尤其涉及一種漏液偵測裝置。

背景技術

目前，為了方便傳輸，工廠中由廠務端向設備端供應的中轉箱會有幾個管道通向機臺端，中轉箱中的管道有時會發生化學藥液泄漏，而化學藥液通常具有腐蝕性，泄漏現象有時由于未能及時被發現并處理，可能導致大面積的泄漏，有時甚至會造成設備的損害，造成較大損失。為了解決這一問題，采用在中轉箱底部開孔并于開孔處加裝一條底部密封的管路，在管路外部安裝傳感器，形成漏液偵測裝置來偵測中轉箱內部的漏液情況，發生液體泄漏時，有時會由于漏液進入管路時形成氣封現象導致管路下端沒有液體，致使傳感器沒有感應到管路內部的變化，報警系統沒有觸發，從而由于漏液偵測不及時導致大面積漏液現象的發生，進而導致設備損壞等較為嚴重的后果。

中國專利（公開號：CN202074239U）公開了一種管路漏液偵測裝置，其用以偵測管路的漏液，且包括套管、反射鏡、感濕薄膜、光源及光偵測器。套管環繞管路，套管的下部與管路密合，且位于下部上方的套管與管路之間形成盛液空間。反射鏡設置于套管的外壁上。感濕薄膜覆蓋反射鏡，其中感濕薄膜在干燥時具有第一光穿透率，且與漏液接觸后具有第二光穿透率，且第二光穿透率大于第一光穿透率。光源用以照射感濕薄膜。光偵測器用以接收來自反射鏡的反射光。

中國專利（公開號：CN1595131A）公開了一種漏液檢測裝置至少包括：一電壓供應電路、一漏液檢出電路、一濾波電路、一漏液比較電路、一參考電壓源以及一漏液信號輸出電路；其根據漏液傳感器感測到的液體阻抗的不同，使漏液檢出電路中的運算放大器產生不同的電壓輸出，且將該輸出電壓與一參考電壓源進行比較，作為漏液傳感器是否與液體接觸的判定依據，進而提供晶體管一正偏電壓或負偏電壓，使漏液信號輸出電路中的共射極NPN晶體管導通或不導通，推動繼電器產生開或關的信號，令可編程邏輯運算控制器電路產生控制信號，該發明的漏液檢測裝置可感測高阻抗液體的同時，還具有較長的檢測距離，該發明還可檢測到漏液傳感器是否發生斷路或短路現象。

上述兩件專利均公開了漏液偵測裝置，但其采用的技術方案以及與本發明所采用的技術方案并不相同。

發明內容

針對上述存在的問題，本發明公開一種漏液偵測裝置，以克服現有技術中漏液進入管路時形成氣封現象，導致管路下方沒有液體，從而無法有效偵測到中轉箱是否有漏液的問題。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種漏液偵測裝置，應用于向機臺傳輸化學藥液的管道的漏液偵測，包括：

一中轉箱，所述中轉箱套設于所述管道外，且所述中轉箱的底部設有開孔；

設置于所述中轉箱底部與所述開孔連通的套管，所述套管包括管路和設置于所述管路內部的支管，所述管路的底部密封，所述支管的一端伸出所述管路的頂部開口；以及，

設置于所述套管外部的傳感器。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述管路和所述支管均為直管。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述支管與所述管路采用支架連接。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述中轉箱底部的開孔設有多個，每個開孔均連通一個套管，每個套管外部均設置一個傳感器。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述支管底部與所述管路底部不接觸。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述支管的中心線和所述管路的中心線重合。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述支管的中心線和所述管路的中心線不重合。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述傳感器為電容傳感器。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述傳感器設有報警裝置。

上述的漏液偵測裝置，其中，所述套管采用防酸堿材質。

上述發明具有如下優點或者有益效果：

本發明采用在中轉箱底部的管路中設置一個起導氣功能的支管，從而有效避免了漏液進入管路時形成的氣封現象，導致管路下方沒有液體，從而無法有效偵測到中轉箱中是否有漏液的問題。

具體附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發明及其特征、外形和優點將會變得更加明顯。在全部附圖中相同的標記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點在于示出本發明的主旨。

圖1是本發明漏液偵測裝置實施例一中套管的俯視圖；

圖2是本發明漏液偵測裝置實施例一中套管的剖面結構示意圖；

圖3是本發明漏液偵測裝置實施例一的剖面結構示意圖；

圖4是本發明漏液偵測裝置實施例二中套管的俯視圖；