[發(fā)明專利]溫度監(jiān)控裝置及等離子體加工設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310547435.3
• 申請(qǐng)日: 2013-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN104630735A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種溫度監(jiān)控裝置，用于監(jiān)控位于反應(yīng)腔室內(nèi)的被加熱體的不同區(qū)域的溫度以控制加熱功率，其特征在于，所述溫度監(jiān)控裝置包括加熱單元、檢測(cè)單元、驅(qū)動(dòng)單元和控制單元，其中

所述加熱單元用于對(duì)所述被加熱體的不同區(qū)域進(jìn)行加熱；

所述檢測(cè)單元包括溫度檢測(cè)模塊，所述溫度檢測(cè)模塊用于檢測(cè)所述被加熱體的不同區(qū)域內(nèi)的溫度，并將檢測(cè)到的溫度發(fā)送到所述控制單元；

所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)所述溫度檢測(cè)模塊在所述反應(yīng)腔室內(nèi)移動(dòng)，以使所述溫度檢測(cè)模塊在移動(dòng)的過程中分別檢測(cè)所述被加熱體不同區(qū)域的溫度；

所述控制單元用于根據(jù)所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送而來的溫度與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行比較，并在二者存在偏差時(shí)，校準(zhǔn)所述加熱單元對(duì)所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送的溫度所對(duì)應(yīng)的檢測(cè)區(qū)域的輸出功率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于，所述被加熱體包括沿其徑向劃分的多個(gè)互為同心的區(qū)域，所述檢測(cè)單元還包括位置檢測(cè)模塊，所述位置檢測(cè)模塊用于在所述溫度檢測(cè)模塊移動(dòng)的過程中實(shí)時(shí)檢測(cè)所述溫度檢測(cè)模塊的位置，并將其發(fā)送至所述控制單元；

所述控制單元用于根據(jù)所述位置檢測(cè)模塊發(fā)送而來的位置判斷由所述溫度檢測(cè)模塊在該位置處發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的區(qū)域，并將該溫度與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行比較，且在二者存在偏差時(shí)校準(zhǔn)所述加熱單元對(duì)所述被加熱體的該區(qū)域的輸出功率。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于，所述被加熱體包括沿其徑向由內(nèi)向外劃分的互為同心的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域，所述加熱單元包括中心加熱模塊和邊緣加熱模塊，所述中心加熱模塊用于對(duì)被加熱體的中心區(qū)域進(jìn)行加熱；所述邊緣加熱模塊用于對(duì)被加熱體的邊緣區(qū)域進(jìn)行加熱；

所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)所述溫度檢測(cè)模塊在所述反應(yīng)腔室的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域之間移動(dòng)，以使所述溫度檢測(cè)模塊在移動(dòng)的過程中分別檢測(cè)所述被加熱體的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域的溫度，并將其發(fā)送至所述控制單元；所述位置檢測(cè)模塊用于在所述溫度檢測(cè)模塊移動(dòng)的過程中實(shí)時(shí)檢測(cè)所述溫度檢測(cè)模塊的位置，并將其發(fā)送至所述控制單元；

所述控制單元用于根據(jù)所述位置檢測(cè)模塊發(fā)送而來的位置判斷由所述溫度檢測(cè)模塊在該位置處發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的中心區(qū)域溫度或邊緣區(qū)域溫度，若屬于被加熱體的中心區(qū)域溫度，則將其與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行比較，并在二者存在偏差時(shí)校準(zhǔn)所述中心加熱模塊的輸出功率；若屬于被加熱體的邊緣區(qū)域溫度，則將其與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行比較，并在二者存在偏差時(shí)校準(zhǔn)所述邊緣加熱模塊的輸出功率。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于，所述位置檢測(cè)模塊包括磁感應(yīng)器和磁體，其中

所述磁感應(yīng)器設(shè)置在與被加熱體的中心相對(duì)應(yīng)的位置處，所述磁體設(shè)置在與所述溫度檢測(cè)模塊相對(duì)應(yīng)的位置處，并隨所述溫度檢測(cè)模塊同步移動(dòng)，并且

所述磁感應(yīng)器被設(shè)置為：在所述磁體處于所述被加熱體的中心區(qū)域時(shí)感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)，而在所述磁體處于所述被加熱體的邊緣區(qū)域時(shí)無法感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)；所述磁感應(yīng)器在感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)時(shí)向所述控制單元發(fā)送信號(hào)；

所述控制單元在接收到來自所述磁感應(yīng)器的信號(hào)時(shí)，則確定此時(shí)由所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的中心區(qū)域溫度；在未接收到來自所述磁感應(yīng)器的信號(hào)時(shí)，則確定此時(shí)由所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的邊緣區(qū)域溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的溫度監(jiān)控裝置，其特征在于，所述位置檢測(cè)模塊包括磁感應(yīng)器和磁體，其中

所述磁體設(shè)置在與所述被加熱體的中心相對(duì)應(yīng)的位置處，所述磁感應(yīng)器設(shè)置在與所述溫度檢測(cè)模塊相對(duì)應(yīng)的位置處，并隨所述溫度檢測(cè)模塊同步移動(dòng)，并且

所述磁感應(yīng)器被設(shè)置為：在所述磁感應(yīng)器處于所述被加熱體的中心區(qū)域時(shí)感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)，而在所述磁感應(yīng)器處于所述被加熱體的邊緣區(qū)域時(shí)無法感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)；所述磁感應(yīng)器在感應(yīng)到由所述磁體產(chǎn)生的磁場(chǎng)時(shí)向所述控制單元發(fā)送信號(hào)；

所述控制單元在接收到來自所述磁感應(yīng)器的信號(hào)時(shí)，則確定此時(shí)由所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的中心區(qū)域溫度；在未接收到來自所述磁感應(yīng)器的信號(hào)時(shí)，則確定此時(shí)由所述溫度檢測(cè)模塊發(fā)送而來的溫度屬于被加熱體的邊緣區(qū)域溫度。