[發明專利]調節激光頻率的方法及激光頻率調節系統

有效

• 申請號: 201310542956.X
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN103545705A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 張翔
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;H01S3/00
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種調節激光頻率的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、提供一原激光脈沖（10）；

步驟2、利用分光鏡（20）將該原激光脈沖（10）分成分別沿兩個方向傳輸的第一子激光脈沖（11）和第二子激光脈沖（12）；

步驟3、利用數個反射鏡（30）將第一子激光脈沖（11）反射至分光鏡（20）上第二子激光脈沖（12）的出射處，并在該第一子激光脈沖（11）傳輸過程中，使該第一子激光脈沖（11）通過一光程延長裝置（40）；

步驟4、所述第一子激光脈沖（11）經分光鏡（20）反射后與第二子激光脈沖（12）具有相同的傳輸方向，并與第二子激光脈沖（12）相疊加，并利用補償片（50）對疊加形成的激光脈沖（13）的傳輸方向進行調節。

2.如權利要求1所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述第一子激光脈沖（11）為原激光脈沖（10）在分光鏡（20）上部分反射而形成，所述第二子激光脈沖（12）為原激光脈沖（10）部分穿過該分光鏡（20）出射而形成，通過調節分光鏡（20）的反射系數來調節第一子激光脈沖（11）和第二子激光脈沖（12）占原激光脈沖（10）的能量比。

3.如權利要求2所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述第一子激光脈沖（11）的能量為原激光脈沖（10）的能量的50%，所述第二子激光脈沖（12）的能量為原激光脈沖（10）的能量的50%。

4.如權利要求1所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述光程延長裝置（40）包括：光學晶體（42）及設于所述光學晶體（42）兩端的高透光率防反射層（44），所述第一子激光脈沖（11）從光學晶體（42）一端的高透光率防反射層（44）入射，并從光學晶體（42）另一端的高透光率防反射層（42）出射。

5.如權利要求4所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述光學晶體（42）為存在電光效應的光學晶體，所述光學晶體（42）對應波長為308nm的激光時的折射率大于3，所述高透光率防反射層（44）由MgF₂或者Al₂O₃制成。

6.如權利要求1所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述反射鏡（30）的數量為四個，分別為第一至第四反射鏡（32、34、36、38），所述第一子激光脈沖（11）從分光鏡（20）出射后經過第一反射鏡（32）反射后傳輸至第三反射鏡（36），經過第三反射鏡（36）反射后傳輸至所述光程延長裝置（40），并穿過該光程延長裝置（40）后傳輸至第二反射鏡（34），經過第二反射鏡（34）反射后傳輸至第四反射鏡（38），經過第四反射鏡（38）反射后以一定角度傳輸至分光鏡（20）上第二子激光脈沖（12）的出射處，以與第二子激光脈沖（12）相疊加。

7.如權利要求1所述的調節激光頻率的方法，其特征在于，所述第一子激光脈沖（11）與第二子激光脈沖（12）疊加形成的激光脈沖（13）經補償片（50）調節后，與原激光脈沖（10）具有相同的傳輸方向，且處于同一水平高度上。

8.一種激光頻率調節系統，其特征在于，包括：一入射口（22）、一分光鏡（20）、數個反射鏡（30）、一光程延長裝置（40）、一補償片（50）及一出射口（24）；該分光鏡（20）相對該入射口（22）設置，該補償片（50）相對該出射口（24）設置；一原激光脈沖（10）從該入射口（22）入射至分光鏡（20）處，經分光鏡（20）分成沿兩個方向傳輸的第一子激光脈沖（11）和第二子激光脈沖（12），所述數個反射鏡（30）將該第一子激光脈沖（11）以一定角度反射至該分光鏡（20）上第二子激光脈沖（12）出射處，并與第二子激光脈沖（12）疊加后經過補償片（50）調節傳輸方向后從該出射口（24）射出，所述光程延長裝置（40）設于該第一子激光脈沖（11）的傳輸光路中。