[發(fā)明專利]可調(diào)整拾取頭和用于制造器件的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310539621.2
• 申請(qǐng)日: 2013-11-05
• 公開（公告）號(hào): CN103811398A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: Z.阿布杜拉;A.R.莫哈梅德;R.奧特倫巴;S.塞尼瓦桑
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;馬永利

1.一種拾取頭，其包括：

包括座的柄部；

通過(guò)第一接頭連接到所述座的中間體；以及

通過(guò)第二接頭連接到所述中間體的套筒夾。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述第一接頭包括所述中間體和具有臂的所述座，并且其中中間體被配置成可繞著與所述臂正交的第一軸線樞轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拾取頭，其中，

所述座是在臂中具有導(dǎo)向環(huán)座鉆孔的鋼領(lǐng)座，其中所述中間體是具有導(dǎo)向環(huán)鉆孔的導(dǎo)向環(huán)，其中所述第一接頭進(jìn)一步包括緊固銷，并且其中所述緊固銷被部署在所述導(dǎo)向環(huán)座鉆孔和所述導(dǎo)向環(huán)鉆孔中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述第二接頭包括被配置成可繞著所述中間體中的第二軸線樞轉(zhuǎn)的所述套筒夾，所述第二軸線不同于所述第一軸線。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述第二軸線與所述第一軸線正交。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述第二接頭進(jìn)一步包括在旋轉(zhuǎn)體與所述套筒夾之間的球形接頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的拾取頭，進(jìn)一步包括固定螺釘，并且其中所述固定螺釘被配置成調(diào)整所述拾取頭的所述可調(diào)整性。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述套筒夾包括vespel、特氟隆、迭爾林或高溫橡膠。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拾取頭，其中，

所述柄部、所述中間體以及旋轉(zhuǎn)體包括不銹鋼。

10.一種套筒夾，其包括：

被配置成拾取管芯的前表面；

連接體；

具有腔的后表面，所述腔被配置成形成球形接頭；以及

連接所述前表面和所述腔的通道，所述通道被配置成為真空通路的一部分。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的套筒夾，其中，

所述套筒夾進(jìn)一步包括套筒夾鉆孔。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的套筒夾，其中，

所述套筒夾被配置成可調(diào)整地連接到中間體。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的套筒夾，其中，

所述套筒夾包括vespel、迭爾林、特氟隆或高溫橡膠。

14.一種用于調(diào)整可調(diào)整拾取頭的方法，所述方法包括：

松開可調(diào)整拾取頭體的固定螺釘；

通過(guò)將套筒夾附接到所述可調(diào)整拾取頭體來(lái)組裝可調(diào)整拾取頭；以及

上緊所述固定螺釘從而控制所述可調(diào)整拾取頭的所述可調(diào)整性。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，

所述可調(diào)整拾取頭體包括了包括有座的柄部、可調(diào)整地連接到所述座的中間體以及連接到所述固定螺釘?shù)男D(zhuǎn)體。

16.一種用于制造器件的方法，所述方法包括：

用可調(diào)整拾取頭來(lái)拾取管芯；

將所述管芯放置在管芯載體上；

將管芯接合到管芯載體；以及

灌封所述管芯和所述管芯載體。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，

接合包括將所述管芯擴(kuò)散焊接到所述管芯載體。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，

接合包括所述管芯到所述管芯載體的粘合接合。

19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，進(jìn)一步包括將經(jīng)灌封的載體切單片成灌封的單個(gè)管芯。

20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，

所述可調(diào)整拾取頭包括：

具有導(dǎo)向環(huán)座的柄部；

可調(diào)整地連接到所述導(dǎo)向環(huán)座的導(dǎo)向環(huán)；以及

可調(diào)整地連接到所述導(dǎo)向環(huán)座的套筒夾。