[發(fā)明專(zhuān)利]智能提片儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310534227.X
• 申請(qǐng)日: 2013-11-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103691617A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施建珍;黃云霞;方靖淮;紀(jì)憲明;沐仁旺;孫思宇;李亞華;王瑋;王磊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 南通大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B05C3/10
• 分類(lèi)號(hào): B05C3/10;B05C11/10
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，本發(fā)明涉及一種智能提片儀。?

背景技術(shù)

提片儀主要用于溶膠-凝膠法等液相法制備薄膜材料。把潔凈干燥的基片浸入溶液中，通過(guò)預(yù)先設(shè)置的提拉速度、提拉高度、鍍膜次數(shù)等參數(shù)，將浸漬后的基片以一定速度慢慢提拉起來(lái)，在基片的表面形成一層納米級(jí)的薄膜。系統(tǒng)裝置運(yùn)行穩(wěn)定、工作時(shí)液面無(wú)振動(dòng)，極大地提高實(shí)驗(yàn)精度與實(shí)驗(yàn)效率。適用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金屬等所有固體材料表面涂覆工藝。應(yīng)用于科學(xué)研究、產(chǎn)品生產(chǎn)。目前市場(chǎng)上現(xiàn)有的提片儀，功能簡(jiǎn)單，存在不少缺陷：1、提拉精度不高，最小分辨率只能達(dá)到1um/min；2、不能實(shí)現(xiàn)對(duì)提膜液體進(jìn)行恒溫回流控制；3、不能實(shí)現(xiàn)對(duì)提膜過(guò)程進(jìn)行暗室保護(hù)；4、一次只能提取一個(gè)膜，效率低；5、功能單一，價(jià)格昂貴。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問(wèn)題之一或至少提供一種有用的商業(yè)選擇。?

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、控制方便且提膜效率高的智能提片儀。?

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀，包括：殼體，所述殼體設(shè)有操作通道；溶液器，所述溶液器設(shè)在所述殼體下部，用于盛放基片提膜用的溶液；支架，所述支架包括基片安裝部和第一傳動(dòng)部，所述基片安裝部安裝多個(gè)基片，所述第一傳動(dòng)部使所述支架可上下移動(dòng)以將所述基片插入所述溶液器或從所述溶液器中提出；傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸設(shè)在所述殼體內(nèi)，所述傳動(dòng)軸上設(shè)有與所述第一傳動(dòng)部相適配的第二傳動(dòng)部，所述支架通過(guò)所述第一傳動(dòng)部和所述第二傳動(dòng)部的配合沿所述傳動(dòng)軸上下移動(dòng)；和控制器，所述控制器設(shè)在所述殼體上，所述控制器控制所述智能提片儀提片。?

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀，具有特制的溶液器，可以避免外界環(huán)境對(duì)溶液器內(nèi)溶液的干擾，傳動(dòng)裝置配合精密，提膜精度高，支架可同時(shí)安裝多個(gè)基片，而且采用控制器自動(dòng)控制提片過(guò)程，提高了提膜效率，節(jié)約了成本。?

另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的智能提片儀，還可以具有如下附加的技術(shù)特征：?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一傳動(dòng)部包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和豎直布置的轉(zhuǎn)軸，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)由所述控制器驅(qū)動(dòng)并帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有螺紋；所述第二傳動(dòng)部包括齒輪，所述齒輪通過(guò)連接軸豎直安裝在所述傳動(dòng)軸上，所述齒輪與所述螺紋嚙合。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述螺紋與所述齒輪的減速比為1：10000。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述智能提片儀包括多個(gè)調(diào)平螺母，多個(gè)所述調(diào)平螺母安裝在所述智能提片儀底部以調(diào)節(jié)所述智能提片儀中溶液器內(nèi)溶液水平。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述智能提片儀內(nèi)設(shè)有提膜距離設(shè)置裝置以設(shè)定所述支架移動(dòng)距離。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述提膜距離設(shè)置裝置包括調(diào)節(jié)柱，所述調(diào)節(jié)柱上設(shè)有滑桿，所述滑桿上方設(shè)有第一光電門(mén)和第一接觸式測(cè)距儀且所述第一接觸式測(cè)距儀帶動(dòng)所述第一光電門(mén)上下運(yùn)動(dòng)，所述滑桿下方設(shè)有第二光電門(mén)和第二接觸式測(cè)距儀且所述第二接觸式測(cè)距儀帶動(dòng)所述第二光電門(mén)上下運(yùn)動(dòng)。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述基片安裝部設(shè)有光電檢測(cè)板，所述光電檢測(cè)板檢測(cè)所述第一光電門(mén)和第二光電門(mén)發(fā)出的光以確定所述支架移動(dòng)的距離。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述提膜距離設(shè)置裝置還包括顯示器以顯示所述支架移動(dòng)的距離。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述溶液器內(nèi)設(shè)有恒溫控制器。?

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述控制器為單片機(jī)。?

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。?

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：?

圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀的支架與傳動(dòng)軸的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀的調(diào)平螺母的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的智能提片儀的提膜距離設(shè)置裝置結(jié)構(gòu)示意圖；?

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。?