[發明專利]光譜分析系統

有效

• 申請號: 201310525282.2
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN103592025A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 陳文聰;蒲以康
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

1.一種光譜分析系統，其特征在于，包括：

切尼-特納光路結構，所述切尼-特納光路結構用于將光源的光譜分光為不同波長單色光后平行地輸出；

光電倍增管陣列，所述光電倍增管陣列包括N個光電倍增管，N為正整數；

光纖陣列，所述光纖陣列包括N組光纖，各組光纖的第一端排成與入射狹縫平行方向的一列安裝在所述切尼-特納光路結構的聚焦平面上，其中所述各組光纖的第一端收集不同波長單色光，所述N組光纖的第二端與所述N個光電倍增管一一對應地相連以將不同波長的光信號傳導到不同的光電倍增管；

多通道時間門控計數器，所述多通道時間門控計數器與所述多個光電倍增管分別電性連接；

高壓電源，所述高壓電源與所述光電倍增管陣列電性連接；和

溫度控制模塊，所述溫度控制模塊與所述光電倍增管陣列相連，用于在進行光譜測量時將所述光電倍增管陣列維持在恒定的低溫環境。

2.如權利要求1所述的光譜分析系統，其特征在于，所述切尼-特納光路結構具體包括：入射狹縫、準直反射鏡、衍射光柵和聚焦反射鏡，其中，光源發出的連續光譜經過所述入射狹縫到照射到所述準直反射鏡上，然后經過所述準直反射鏡反射形成平行光，所述平行光經過所述衍射光柵衍射后，通過所述聚焦反射鏡使不同波長的單色光聚焦到同一焦平面上的不同位置。

3.如權利要求1或2所述的光譜分析系統，其特征在于，各組光纖中包括的光纖數目相同。

4.如權利要求1-3所述的光譜分析系統，其特征在于，所述光電倍增管工作于光子計數模式，所述多通道門控計數器對所述N個光電倍增管同時進行光子計數。

5.如權利要求1-4所述的光譜分析系統，其特征在于，所述光纖為多模光纖。

6.如權利要求1-5所述的光譜分析系統，其特征在于，通過已知原子氣體放電燈標定可以確定每個光電倍增管所采集的光信號的波長。

7.如權利要求1-6所述的光譜分析系統，其特征在于，當需要采集指定波長的譜線時，通過調節光纖陣列在第一端的每列光纖間距以改變每個光電倍增管對應的波長。