[發(fā)明專利]多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法及系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310520091.7
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN103529653A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設計）人: 劉濤;趙飛;李顯杰
• 申請（專利權）人: 天津芯碩精密機械有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107
• 代理人: 閆俊芬

1.一種多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，包括：?

第1步，將待曝光的多層矢量圖形柵格化；?

第2步，將柵格化后的所述多層矢量圖形數(shù)字化；?

第3步，將數(shù)字化后的所述多層矢量圖形，利用八叉樹分割法分割，對分割后的多層矢量圖形數(shù)據(jù)，采用八叉樹數(shù)據(jù)結構進行存儲。?

2.根據(jù)權利要求1所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，在第1步中，所述將待曝光的多層矢量圖形柵格化具體為，將所述多層矢量圖形的多層分別進行大小均勻的網格陣列的劃分；在第2步中，所述將多層矢量圖形數(shù)字化具體為，將柵格化后的所述多層矢量圖形的網格均設置0或者1表示，位于曝光區(qū)域的所述網格設置1，位于非曝光區(qū)域的所述網格設置0。?

3.根據(jù)權利要求2所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，在第3步中，所述八叉樹分割法，包括：?

第1步，設定最大遞歸深度；?

第2步，找出所述多層矢量圖形的最大尺寸，并以此尺寸建立第一個立方體；?

第3步，依序將單位元元素丟入能被包含且沒有子節(jié)點的立方體；?

第4步，若沒有達到最大遞歸深度，就進行細分八等份，再將該立方體所裝的單位元元素全部分擔給八個子立方體；?

第5步，若發(fā)現(xiàn)子立方體所分配到的單位元元素數(shù)量不為零且跟父立方體是一樣的，則該子立方體停止細分。?

第6步，重復第3步驟，直到達到最大遞歸深度。?

4.根據(jù)權利要求3所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，所述的采用八叉樹數(shù)據(jù)結構進行存儲，具體為，對經過八叉樹分割法分割后的所述立方體設為結點，將所述結點上的網格依次標記為1、2、3、4、5、6、7、8個子結點，存儲后，一個記錄與一個結點相對應，所述記錄中描述的是與之對應的所述結點的八個子結點的特性值。?

5.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的方法，其特征在于，所述多層矢量圖形為GDSⅡ圖形。?

6.一種多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，包括:柵格化單元、數(shù)字化單元、八叉樹分割單元、八叉樹數(shù)據(jù)存儲單元，所述柵格化單元?用于將待曝光的多層矢量圖形柵格化；所述數(shù)字化單元用于將柵格化后的所述多層矢量圖形數(shù)字化；所述八叉樹分割單元用于將數(shù)字化后的所述多層矢量圖形，利用八叉樹分割法分割；所述八叉樹數(shù)據(jù)存儲單元用于對分割后的多層矢量圖形數(shù)據(jù)，采用八叉樹數(shù)據(jù)結構進行存儲。?

7.根據(jù)權利要求6所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，所述柵格化單元具體用于，將所述多層矢量圖形的多層分別進行大小均勻的網格陣列的劃分；所述數(shù)字化單元具體用于，將柵格化后的所述多層矢量圖形的網格均設置0或者1表示，位于曝光區(qū)域的所述網格設置1，位于非曝光區(qū)域的所述網格設置0。?

8.根據(jù)權利要求7所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，所述八叉樹分割單元具體用于，包括：?

第1步，設定最大遞歸深度；?

第2步，找出所述多層矢量圖形的最大尺寸，并以此尺寸建立第一個立方體；?

第3步，依序將單位元元素丟入能被包含且沒有子節(jié)點的立方體；?

第4步，若沒有達到最大遞歸深度，就進行細分八等份，再將該立方體所裝的單位元元素全部分擔給八個子立方體；?

第5步，若發(fā)現(xiàn)子立方體所分配到的單位元元素數(shù)量不為零且跟父立方體是一樣的，則該子立方體停止細分。?

第6步，重復第3步驟，直到達到最大遞歸深度。?

9.根據(jù)權利要求8所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，所述八叉樹數(shù)據(jù)存儲單元具體用于，對經過八叉樹分割單元分割后的所述立方體設為結點，將所述結點上的網格依次標記為1、2、3、4、5、6、7、8個子結點，存儲后，一個記錄與一個結點相對應，所述記錄中描述的是與之對應的所述結點的八個子結點的特性值。?

10.根據(jù)權利要求6-9中任一項所述的多層矢量圖形存儲為曝光數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，其特征在于，所述多層矢量圖形為GDSⅡ圖形。?