[發明專利]具備同軸驅動取放架的檢測機臺

在審

• 申請號: 201310495324.2
• 申請日: 2013-10-21
• 公開（公告）號: CN104425307A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 黃瑞楠
• 申請（專利權）人: 致茂電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G01R31/26
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所(普通合伙) 11216
• 代理人: 劉激揚

1.一種具備同軸驅動取放架的檢測機臺，包括：

X、Y軸移載機構，其組設于所述檢測機臺上；

立板，其組設于所述X、Y軸移載機構上；

驅動齒輪，其設置于所述立板上；以及

兩個L型取放架，其分別設于所述驅動齒輪的兩側，并與該立板連接而可被導引作相對滑移，每個L型取放架包括齒條，所述齒條與所述驅動齒輪相嚙合；

其中，當所述驅動齒輪轉動而驅動齒條時，連動所述兩個L型取放架分別進行上升和下降。

2.如權利要求1所述的具備同軸驅動取放架之檢測機臺，其中，所述立板包括兩個Z軸導軌，每個L型取放架包括Z軸滑塊，所述Z軸滑塊與所述Z軸導軌連接并可相對滑移。

3.如權利要求1所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其還包括兩個復位彈簧，每個復位彈簧的一端連接至所述立板，另一端連接至所述L型取放架。

4.如權利要求1所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其中，每個L型取放架包括真空吸取頭和真空源接頭，所述真空吸取頭與所述真空源接頭彼此連通。

5.如權利要求1所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其還包括兩個位置感應器，固設于所述立板上并分別設置在所述兩個L型取放架的一側，所述兩個位置感應器分別用來感測所述兩個L型取放架的位置。

6.如權利要求1所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其還包括：

待測芯片承載部，用于承載待測試的芯片；

檢測裝置，用于檢測所述芯片；以及

已測芯片承載部，用于承載經檢測后的所述芯片；

其中，所述X、Y軸移載機構與所述立板上的所述兩個L型取放架在所述待測芯片承載部、檢測裝置以及已測芯片承載部之間移載所述芯片。

7.如權利要求6所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其中，該檢測裝置包括探針卡、承載座以及升降臺，所述承載座設于所述探針卡的下方且組設于所述升降臺上；所述升降臺驅使所述承載座靠近或遠離所述探針卡。

8.如權利要求7所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其中，所述承載座的上表面包括芯片置放槽、X軸導槽、以及Y軸導槽，所述X軸導槽和Y軸導槽分別連通至所述芯片置放槽；所述檢測裝置還包括X軸推桿和Y軸推桿；當所述芯片放置于所述芯片置放槽后，所述X軸推桿和Y軸推桿分別穿過所述X軸導槽和Y軸導槽而將所述芯片推抵固定于所述芯片置放槽內。

9.如權利要求7所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其中，所述探針卡包括多個探針，且開設有一貫通槽，每個探針的一端固設于該探針卡，另一端凸伸于該貫通槽中。

10.如權利要求9所述的具備同軸驅動取放架的檢測機臺，其中，所述檢測裝置還包括一攝像機，其設置于所述探針卡上方并與所述貫通槽相對。