[發(fā)明專利]微細群線線電極在線制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310481025.3
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN103521864A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設計）人: 曾永彬;王玉峰;曲寧松;朱荻
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: B23H7/08
• 分類號: B23H7/08
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 賀翔

1.一種微細群線線電極在線制備方法，其特征在于包括以下過程：

步驟1、將微米級的電極絲（22）安裝于工件夾具（4）上，工件夾具（4）安裝于Z軸精密移動平臺（3）；將陰極工具（8）安裝在電解槽（10）中；電解槽（10）安裝于X-Y軸精密移動平臺（2）上；所述陰極工具（8）具有與電極絲（22）對應的陰極孔；所述陰極工具（8）由金屬層和位于金屬層兩側的絕緣層組成；

步驟2、在電解槽（10）中加堿性電解液，使陰極工具（8）完全浸沒于堿性電解液中；

步驟3、將工具陰極（8）接直流電源的正極，電極絲（22）接直流電源負極，實現(xiàn)將工具陰極（8）上的金屬層陰極孔的孔徑的擴大，形成“內凹”的結構，使得金屬層孔徑半徑比絕緣層孔徑半徑大2-4mm;

步驟4、將電極絲（22）接直流電源正極，工具陰極（8）接直流電源的負極，實現(xiàn)對電極絲的電解刻蝕加工，加工過程中電極絲（22）在Z軸方向進行直線往復運動，從而將直線往復運動幅值范圍內的電極絲（22）加工至亞微米尺度;

步驟5、將電解槽（10）中堿性電解液更換為酸性電解液，將工具陰極(8)替換為待加工工件，將待加工工件安裝到電解槽（10）中并接到超高頻窄脈沖電源的正極，電極絲（22）接超高頻窄脈沖電源的負極，進行微細電解線切割加工。

2.根據(jù)權利要求1所述的微細群線線電極在線制備方法，其特征在于：步驟1中所述微米級電極絲（22）為直徑為50~300μm的鎢絲。

3.根據(jù)權利要求1所述的微細群線線電極在線制備方法，其特征在于：所述陰極工具（8）為拼合結構，即在陰極孔中心線處分割成兩部分后拼合組裝而成。

4.根據(jù)權利要求1所述的微細群線線電極在線制備方法，其特征在于：所述電極絲（22）微細群線電極。