[發(fā)明專利]一種柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310476742.7
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號: CN103531414A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳亞琴;朱軍方;劉長彪;馬麗葉;楊陸堂;鄒雯婧
• 申請（專利權(quán)）人: 南京三樂電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
• 主分類號: H01J9/14
• 分類號: H01J9/14;H01J9/16
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 楊海軍

1.一種柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，其特征在于，它包括以下步驟：

a、取柵網(wǎng)材料用沖模落料后，清洗去除柵網(wǎng)材料表面的油污，然后將柵網(wǎng)材料置于燒氫爐燒氫退火處理，然后將柵網(wǎng)材料放置在凸起的球面模具上用沖床壓制成中心呈凸起的球面形圓塊，得到球面柵網(wǎng)毛坯；?

b、取步驟a得到的球面柵網(wǎng)毛坯進(jìn)行清洗，然后將清洗后的球面柵網(wǎng)毛坯放置于燒氫爐燒氫退火處理，去除成型時產(chǎn)生的應(yīng)力，得到去除應(yīng)力的球面柵網(wǎng)毛坯，備用；

c、取步驟b得到的球面柵網(wǎng)毛坯進(jìn)行皮秒激光切割，具體步驟為：首先將球面柵網(wǎng)毛坯用工裝夾具固定，具體做法為先將底座（4）固定于皮秒激光加工設(shè)備的載物臺上，校正底座（4）的中心，然后將球面柵網(wǎng)毛坯(1)用螺帽(2)和壓圈(3)固定在底座(4)上，底座（4）的中心與球面柵網(wǎng)毛坯(1)的中心重合，用CAD繪制需要加工的圖形，然后用脈沖為皮秒級的激光切割，得到柵控行波管柵網(wǎng)的成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，其特征在于，步驟a所用到的柵網(wǎng)材料為厚度為0.03至0.25mm的鉬、鉬錸或無氧銅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，其特征在于，步驟a燒氫退火處理的溫度為650~950℃，燒氫退火時間為10~20分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，其特征在于，步驟b中的燒氫退火處理工藝為：柵網(wǎng)材料為鉬或鉬錸時，在950℃，燒氫退火15分鐘；柵網(wǎng)材料為無氧銅時，在650℃，燒氫退火15分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，步驟c中皮秒級的激光切割參數(shù)為：脈沖寬度為8~12PS，光斑直徑為0.01~0.02mm，功率為0.8W~4W。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柵控行波管柵網(wǎng)的皮秒脈沖激光切割制備方法，步驟b中清洗方式為先用氫氧化鈉溶液清洗然后再用鉻酸溶液清洗。