[發明專利]抗蝕劑剝離液的調和方法和調和裝置

有效

• 申請號: 201310474005.3
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN103728847B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 井上恭;井城大世;小林繁;増田義登
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，具備如下工序：

邊將抗蝕劑剝離再生液以再生液導入量供給至用于獲得規定量的調和溶劑的溶劑槽中邊稱量的工序，所述抗蝕劑剝離再生液是從包含兩種溶劑和水和已剝離的抗蝕劑成分且貯存在回收槽中的已使用抗蝕劑剝離廢液中去除包含水分的低沸點物以及高沸點物而成的，其貯存在抗蝕劑剝離再生液槽中；

計測所述溶劑槽中的所述抗蝕劑剝離再生液的第一溶劑的濃度的工序；

算出第二溶劑的濃度的工序；

從所述規定量和所述再生液導入量和所述第一溶劑的濃度算出第一溶劑追加投入量的工序；

從所述規定量和所述再生液導入量和所述第二溶劑的濃度算出第二溶劑追加投入量的工序；

向所述溶劑槽中投入所述第一溶劑追加投入量的所述第一溶劑和所述第二溶劑追加投入量的所述第二溶劑，從而得到調和溶劑的工序；

邊向調和槽中供給預定重量的純水邊稱量的工序；以及

將所述調和溶劑從所述溶劑槽輸送至所述調和槽，從而得到抗蝕劑剝離液的工序。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述得到調和溶劑的工序中，具備大容量輸送工序和小容量輸送工序。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述溶劑為胺化合物和乙二醇醚。

4.根據權利要求3所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述胺化合物為單乙醇胺，所述乙二醇醚為二乙二醇單丁醚。

5.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述再生液導入量和所述純水的稱量使用稱重傳感器，所述第一溶劑和所述調和槽內的水的濃度的計測使用超聲波濃度計測裝置。

6.根據權利要求1所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其中，在所述調和溶劑的各成分濃度達到設計組成比之外時，將其回流至所述抗蝕劑剝離再生液槽。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，在所述抗蝕劑剝離液的各成分濃度達到預定范圍之外時，將其回流至所述回收槽。

8.根據權利要求1～6中任一項所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述稱量的工序具備如下工序：

計測液體投入前的調和槽或溶劑槽的操作前重量的工序；

計測液體投入后的所述調和槽或所述溶劑槽的操作后重量的工序；以及

從所述操作后重量減去所述操作前重量，從而求出所投入的所述液體的重量的工序。

9.根據權利要求1～6中任一項所述的抗蝕劑剝離液的調和方法，其特征在于，所述稱量的工序具備如下工序：

在向所述調和槽中供給所述純水時或向所述溶劑槽中供給所述抗蝕劑剝離再生液時，將操作前重量記為0的工序；以及

計測所投入的液體重量的工序。