[發明專利]修整器

在審

• 申請號: 201310461262.3
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN103707193A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 筱崎弘行
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B53/12
• 分類號: B24B53/12;B24B37/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;展馨

技術領域

本發明涉及修整器，其用于修整（調整）以CMP（化學機械拋光；Chemical?Mechanical?Polishing）裝置為代表的研磨裝置的研磨墊。

背景技術

在半導體制造中所使用的CMP裝置，是用于研磨晶片的裝置。該CMP裝置一邊向研磨墊供給研磨液，一邊使晶片與研磨墊滑動接觸而研磨晶片的表面。研磨墊隨著研磨晶片而逐漸喪失其研磨性能。因此，一直以來進行如下操作，即利用修整器對研磨墊的表面進行微小地削取，由此而使研磨墊的表面再生。

修整器具有對研磨墊的研磨面進行修整的修整盤。該修整盤的墊接觸面由金剛石磨粒構成，通過使該金剛石顆粒與研磨墊的表面摩擦而削取研磨墊。修整盤自身由SUS316等耐腐蝕性非磁性材料、SUS630等耐腐蝕性磁性材料、聚碳酸酯等的樹脂等各種材料形成。也具有代替金剛石磨粒，而使用植入有毛刷的毛刷修整器的情況。

修整盤和毛刷修整器是消耗品，定期地進行檢查和更換。為了改善修整器更換的便利性，采用磁性材料作為修整盤的材料。這是為了將磁體埋設至安裝修整盤的修整盤保持架上且由磁力來保持修整器。由于這種基于磁力而實現的拆裝構造不需要用于進行更換的工具，所以非常便利。

但是，使用磁體的以往的拆裝結構無法適用于由樹脂等非磁性材料制造的修整器中。近年來，從耐腐蝕性和防止金屬污染的觀點來考慮，也要求采用塑料材料作為修整器。另外，在毛刷修整器以及金剛石修整器的更換中，需要拆除修整盤保持架，也要求改善更換操作性。

發明內容

鑒于這種狀況，本發明的目的在于提供一種修整器，與修整器的材質的種類無關地、能夠簡單更換。

為了實現上述目的，本發明的一個技術方案為一種修整器，用于修整研磨墊，其特征在于，具有：固定在使所述修整器旋轉的修整器軸上的附屬裝置；通過磁力而能夠拆裝地安裝在所述附屬裝置上的修整盤保持架；能夠拆裝地安裝在所述修整盤保持架上且具有修整面的修整盤，所述附屬裝置以及所述修整盤保持架分別具有產生所述磁力的磁鐵。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述磁鐵是圍繞所述修整器的中心配置的多個磁鐵，該多個磁鐵以使相鄰的兩個磁鐵的磁極相互不同的方式排列。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述多個磁鐵構成圍繞所述修整器的中心以等間隔排列的多個組，所述多個組分別由N極和S極交替配置的至少三個磁鐵構成，在全部所述多個組中，所述至少三個磁鐵的排列相同。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述附屬裝置能夠拆裝地安裝在所述修整器軸上。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述修整盤能夠拆裝地安裝在所述修整盤保持架上。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述修整盤通過磁力安裝在所述修整盤保持架上。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述修整盤通過螺絲安裝在所述修整盤保持架上。

本發明的其他技術方案的修整器，用于修整研磨墊，其特征在于，具有：固定在使所述修整器旋轉的修整器軸上的附屬裝置；通過磁力能夠拆裝地安裝在所述附屬裝置上且具有修整面的毛刷盤，所述附屬裝置以及所述毛刷盤分別具有產生所述磁力的磁鐵。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述磁鐵是圍繞所述修整器的中心配置的多個磁鐵，該多個磁鐵以使相鄰的兩個磁鐵的磁極相互不同的方式排列。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述多個磁鐵構成圍繞所述修整器的中心以等間隔排列的多個組，所述多個組分別由N極和S極交替配置的至少三個磁鐵構成，在全部所述多個組中，所述至少三個磁鐵的排列相同。

本發明的優選技術方案，其特征在于，所述附屬裝置能夠拆裝地安裝在所述修整器軸上。

發明的效果

根據本發明的第一技術方案，附屬裝置和修整盤保持架僅通過磁力相互吸引，能夠通過手比較簡單地將修整盤保持架與修整盤一同從附屬裝置上拆除。修整盤保持在修整盤保持架上，因此，能夠與修整盤的材料是磁性材料還是非磁性材料無關地適用本發明。

根據本發明的第二技術方案，附屬裝置和毛刷盤僅通過磁力相互吸引，能夠通過手比較簡單地將毛刷盤從附屬裝置上拆除。

附圖說明

圖1是表示具有修整器的修整裝置的立體圖。

圖2是表示修整器的剖視圖。

圖3是附屬裝置的俯視圖。

圖4是附屬裝置的仰視圖。

圖5是圖3所示的A-A線剖視圖。

圖6是圖5所示的B-B線剖視圖。

圖7是修整盤保持架的仰視圖。